具有磨损指示器的腔室部件的制作方法

技术总结
用于监控腔室部件的磨损的设备在此被公开。在一个具体实施方式中，提供腔室部件。所述腔室部件包括：主体，所述主体包括第一材料；设置在所述第一材料上的第二材料，所述第二材料具有限定所述腔室部件的内部表面的暴露的表面；以及设置在所述第二材料的所述暴露的表面之下的磨损深度处的磨损表面。

技术研发人员：邱伟帆;麦特斯·拉尔森
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201610320295
技术研发日：2016.05.13
技术公布日：2016.11.23