1.一种反应腔体，其特征在于，包括：
顶板，所述顶板的一面上设置有多个孔洞；
多个顶起部件，分别设置于多个所述孔洞内；
隔离板，所述隔离板位于所述顶板的一面；以及
用于驱动所述顶起部件的驱动装置，连接所述顶起部件，当所述驱动装置控制所述顶起部件未顶起时，所述顶起部件完全位于所述孔洞内；当所述驱动装置控制所述顶起部件顶起时，所述顶起部件的一端从所述顶板的一面顶出所述孔洞，并将所述顶板顶起。
2.如权利要求1所述反应腔体，其特征在于，所述顶起部件为弹性顶起部件。
3.如权利要求2所述反应腔体，其特征在于，所述顶起部件包括一基块以及一位于所述基块一侧的弹簧，所述驱动装置控制所述基块上下运动。
4.如权利要求3所述反应腔体，其特征在于，所述顶起部件还包括一顶帽，所述顶帽位于所述弹簧背离所述基块的一侧，所述顶帽的材料为柔性绝缘材料。
5.如权利要求4所述反应腔体，其特征在于，所述顶帽的材料为全氟橡胶。
6.如权利要求3所述反应腔体，其特征在于，所述基块和弹簧的表面均为绝缘材料。
7.如权利要求1至6中任意一项所述反应腔体，其特征在于，所述顶板包括框架结构，所述孔洞位于所述框架结构内。
8.如权利要求7所述反应腔体，其特征在于，多个所述孔洞均匀排列在所述框架结构上。
9.如权利要求1所述反应腔体，其特征在于，所述反应腔体包括多个所述驱动装置，每个所述驱动装置分别连接部分所述顶起部件。
10.一种干法刻蚀机台，其特征在于，包括如权利要求1至9中任意一项所述的反应腔体。