摄像装置和电子设备的制作方法

文档序号:11956021阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种摄像装置和电子设备。其中,摄像装置可包括:半导体基板,其具有第一侧和第二侧;光电转换部,其设置在所述半导体基板中;像素分隔凹槽,其设置在所述半导体基板中并且邻近于所述光电转换部;多个绝缘膜,其设置为邻近于所述半导体基板的所述第一侧;以及氧化硅膜,其中,所述多个绝缘膜中的每个绝缘膜包括选自由氧化铪、氧化锆、氧化铝、氧化钛和氧化钽组成的组中的至少一种成分,所述氧化硅膜接触第一绝缘膜的表面以及第二绝缘膜的表面,第一绝缘膜设置在所述像素分隔凹槽的内部,第二绝缘膜的至少一部分的厚度大于或等于10nm并且小于或等于80nm,并且第一绝缘膜和第二绝缘膜由相同材料制成。

技术研发人员:万田周治;桧山晋;志贺康幸
受保护的技术使用者:索尼公司
文档号码:201610624836
技术研发日:2014.09.19
技术公布日:2016.12.07

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