含有空穴阻挡层的锑化镓基量子阱激光器的外延生长方法与流程

文档序号:12372197阅读:来源:国知局
技术总结
一种含有空穴阻挡层的锑化镓基2‑4um量子阱激光器结构,该结构为多层结构,其特征在于,包括:一N 型GaSb衬底;一N型GaSb缓冲层,该缓冲层生长在衬底上;一N型AlGaAsSb覆盖层,该覆盖层生长在N型GaSb缓冲层上;一AlGaAsSb下波导层,该下波导层生长在N型AlGaAsSb覆盖层上;一AlGaAsSb下势垒层,该下势垒层生长在AlGaAsSb下波导层上;一InPSb空穴阻挡层,该空穴阻挡层生长在AlGaAsSb下势垒层上;一InGaAsSb量子阱层,该量子阱层生长在InPSb空穴阻挡层上;一AlGaAsSb上势垒层,该上势垒层生长在InGaAsSb量子阱层上;一AlGaAsSb上波导层,该上波导层生长在AlGaAsSb上势垒层上;一P型AlGaAsSb覆盖层,该覆盖层生长在AlGaAsSb上波导层上;一P型GaSb欧姆接触层,该接触层生长在P型AlGaAsSb覆盖层上。

技术研发人员:于春满;朱海军;张兴
受保护的技术使用者:成都斯科泰科技有限公司
文档号码:201610660268
技术研发日:2016.08.12
技术公布日:2017.01.04

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