包括多个子模块和压力装置的功率半导体模块及其布置的制作方法

本发明描述了一种功率半导体模块，其包括多个子模块，优选为相同类型的子模块，其还包括适于与子模块热压力接触的压力装置，以及一种布置，其包括这样的功率半导体模块并包括底板或包括冷却装置。

背景技术：

在现有技术中，例如在DE 10 2013 104 949 B3中，公开了一种开关装置，其包括基材、功率半导体组件、连接装置、负载端子装置和压力装置。在这种情况下，基材具有电绝缘导体轨道，其中功率半导体组件布置在导体轨道上。连接装置被实施为膜复合体，其包括导电膜和电绝缘膜，并具有第一主表面和第二主表面。所述开关装置从而在内部以符合电路的方式连接。压力装置具有压力主体，所述压力主体具有第一切除部，布置有从所述第一切除部突出的压力元件，其中压力元件按压到膜复合体的第二主表面的部段上，并且在这种情况下，所述部段布置在功率半导体组件的沿着垂直于功率半导体组件的方向突出的区域内。

此外，DE 10 2013 104 950 B3公开了压力接触实施例的功率半导体模块，其包括功率电子开关装置、壳体、引向外侧的第一负载端子元件，并且包括第一压力装置。在这种情况下，如上所述的开关装置被实施为具有内部第二负载端子装置。此外，第一负载端子装置以符合极性的方式直接电连接到第二负载端子装置的布置在压力主体顶侧上的负载接触位置。

技术实现要素：

在有关所引用的现有技术的知识基础上，本发明的目的是提出一种功率半导体模块，其中其子模块可热有效地链接，并提出一种布置，其包括具有热有效地链接的这种功率半导体模块。

根据本发明的功率半导体模块是压力接触实施例类型的，其实施为包括多个功率电子子模块，包括壳体，包括引向外侧的端子元件，并且包括第一压力装置，其中所述相应的功率电子子模块具有：基材，所述基材具有布置在其上的功率半导体组件；内部连接装置；和具有压力引入表面的第二压力装置，其中所述第一压力装置被实施为扁平的金属成型主体，其优选由弹簧钢制成，具有多个凹入的弹性地作用的压力凸耳，每个压力凸耳具有压力接触位置，用于直接或间接地将压力引入到相应的第二压力装置的所分配的压力引入表面上。

根据本发明的布置包括根据本发明的功率半导体模块和可被实施为冷却装置的底板。

不言而喻的是，除非本身被排除在外，否则以单数提及的特征可在根据本发明的功率半导体模块内以复数存在。

优选的是，子模块的连接装置被实施为膜复合体，其包括导电膜和电绝缘膜，从而形成面向基材的第一主表面以及与所述第一主表面相反的第二主表面，其中所述功率半导体模块通过连接装置在内部以符合电路的方式连接。

有利的是，子模块的第二压力装置具有压力主体，该压力主体具有第一切除部，布置有从所述第一切除部在功率半导体组件的方向上突出的第一压力元件，并且其中压力元件按压到所述连接装置的第二主表面的部段上，并且在这种情况下，所述部段布置在功率半导体组件的沿着垂直于功率半导体组件的方向突出的区域内。

可特别优选的是，功率半导体模块的扁平金属成型主体由多个堆叠的部分金属成型主体构成。在这种情况下，可进一步优选的是，相邻于子模块布置的第一部分金属成型主体具有凹部，以及进一步远离子模块的第二金属成型主体具有与所述凹部对准的压力凸耳。此外，可有利的是，相邻于子模块布置的第一部分金属成型主体具有第一部分凸耳，以及进一步远离子模块布置的第二部分金属成型主体具有与所述第一部分凸耳对准的第二部分凸耳，其中在部分凸耳的情况下压缩力累加地相互作用。

在功率半导体模块的一个优选实施例中，压力介导主体布置在第一压力装置的凸耳的压力接触位置和第二压力装置的压力引入表面之间。在这种情况下，多个压力介导主体可通过分组装置机械地连接到彼此，其中所述分组装置优选地被实施为挠性的分组装置。此外，可有利的是，印刷电路板布置在第一压力装置和第二压力装置之间以及压力介导主体优选延伸通过印刷电路板的所分配凹部。

从原则上而言，有利的是，功率半导体模块的端子元件延伸通过壳体并且设计成在压力技术方面借助于第一压力装置的压力凸耳间接或直接按压到端子元件上而导电地连接到基材或连接装置。

如果导热膏，优选含有作为组分的氮化硼的导热膏，布置在功率半导体模块的相应基材和底板或冷却装置之间则可得到优选的布置。在这种情况下，导热膏可具有为5μm至50μm，优选5μm至15μm的厚度。

在一种有利的布置中，压力引入装置优选地被实施为螺钉连接，其相对于底板或相对于所述冷却装置将压力施加到第一压力装置上，并且在这种情况下，压力经由压力凸耳及其压力接触位置直接地或经由压力介导主体间接地施加到第二压力装置的压力引入表面上以及进一步施加到功率半导体组件上，以便将基材在与其垂直的方向上按压到底板或冷却装置上。

不言而喻的是，本发明的不同构造可以单独的方式或以任意组合的方式来实现以便获得改进。具体地，在不脱离本发明范围的情况下，在此处和下文所提及和解释说明的特征不仅可以所示的组合方式使用，而且可以其它组合方式使用，或单独使用。

附图说明

本发明的进一步的阐明、有利细节和特征从如图1至图6中所示的根据本发明布置的示例性实施例或其部分的以下描述是显明的。

图1以分解视图示出根据本发明的功率半导体模块和冷却装置的第一构造。

图2至图5在每种情况下示出根据本发明布置的构造。

图6以三维分解视图示出根据本发明布置的另一构造。

具体实施方式

图1以分解视图示出根据本发明的功率半导体模块10的第一构造，其包括子模块100和冷却装置14，它们一起形成根据本发明的布置1。

该图示出从原则上而言在本领域内作为常规实施的子模块的基材2，并且包括绝缘材料主体20和导体轨道22，导体轨道22布置在绝缘材料主体20上并且彼此电绝缘，子模块的所述导体轨道具有不同电位，特别是负载电位，并且还具有辅助电位，特别是开关和测量电位。在此处具体说明具有负载电位诸如是典型的半桥式拓扑的三个导体轨道22。

相应的功率半导体组件24布置在两个导体轨道22上，该功率半导体组件可如本领域内常规的那样被实施为功率二极管或被实施为开关，例如被实施为MOS-FET或IGBT。功率半导体组件24如本领域内常规的那样导电地连接到导体轨道22，优选通过烧结连接进行连接。

子模块100的内部连接通过连接装置3形成，所述连接装置3由膜复合体制成，所述膜复合体具有交替的导电膜30、34和电绝缘膜32。在此，膜复合体正好具有两个导电膜和布置在其间的一个绝缘膜。在这种情况下，膜复合体3的面对基材2的表面形成第一主表面300，而相反的表面形成第二主表面340。具体地，连接装置3的导电膜30、34具有固有的结构，因此形成彼此电绝缘的导体轨道部段。所述导体轨道部段具体地将相应的功率半导体组件24、更确切地是其在背离基材2的一侧上的接触区域，连接到基材的导体轨道22。在一个优选的构造中，导体轨道部段通过烧结连接粘结地连接到所述接触区域。不言而喻的是，功率半导体组件24之间以及基材2的导体轨道22之间的连接也可以相同的方式形成。

附加地示出连接装置的背离基材2的那个表面的涂层36。所述涂层36在一方面可被实施为灌封，或在另一方面被实施为附加的膜，并具体用于防潮保护。所述涂层36在此属于连接单元3本身，使得涂层的表面从而形成连接装置3的表面340。

对于外部电气链路而言，子模块100具有负载和辅助端子元件4，在此只示出一个辅助端子元件44。所述辅助端子元件44纯粹通过示例的方式被实施为压配合接触件，其通过接触脚而粘结地连接到基材2的导体轨道22。从原则上而言，连接装置3本身的部分也可被实施为负载或辅助端子元件。负载端子元件(未示出)此外可如本领域内常规的那样实施。

该图还示出第二压力装置5的绝缘材料主体50，所述绝缘材料主体在此完全由压力主体54构成，所述压力主体54在其面向基材的一侧上具有切除部546以及布置在所述切除部546中并稍微突出的压力元件56。所述压力元件设置成在压力已经施加到压力主体54上之后按压到连接装置3的第二表面340的部段342上。所述部段342分别与下方布置的功率半导体组件24对准。压力主体54被具体实施为刚性的，以便能够将引入到其上的压力均匀地传递到压力元件56。为此目的以及针对在功率半导体模块的操作过程中热负载的背景状况，压力主体54由耐高温的热塑性材料、特别是聚苯硫醚构成。压力元件56在操作期间必须能够施加大致恒定的压力并且在这种情况下特别是在不同的温度下施加大致恒定的压力。为此目的，压力元件56由硅橡胶构成，特别是由所谓的液体硅胶，也被称为液体硅橡胶(LSR，Liquid Silicone Rubber)构成，其具有20至70、优选55至65的肖氏A硬度。这通过双组分注塑成型方法布置在压力主体54内。

在没有负载的状态下，即在压力主体54上从而在第二压力装置5上没有压力的状态下，所述压力主体以及因此特别还有压力元件56通过布置的功率半导体组件24并通过连接装置3与基材2间隔开。

该图还示出功率半导体模块10的壳体8，其不必完全覆盖子模块100和第一压力装置6。后者(即第一压力装置6)被实施为扁平的金属成型主体62，优选由弹簧钢板构成，具有多个弹性地作用的压力凸耳620，其优选以U形方式凹入，并且每一个压力凸耳620具有压力接触位置622，所述压力接触位置622用于将压力直接引入到第二压力装置5的以及更精确地其压力主体54的所分配的压力引入表面500上。

这种功率半导体模块10如本领域内常规的那样布置在冷却装置14上，其中导热膏140进而如本领域内常规的那样设置在基材2和冷却装置14之间。

图2至图5分别示出根据本发明布置的构造。

图2示出根据本发明的布置，其在原理上类似于根据图1所示的布置，并且从原则上而言具有相同的功能。这种布置具有简单的底板12，而不是冷却装置。此外，绝缘材料主体5还具有在压力主体54旁边的主体52。

在这种情况下，绝缘材料主体50被实施为与主体52和压力主体54是一体的，所述主体52通过粘合剂连接而连接到基材2的边缘26，所述压力主体54布置成相对于主体52是可移动的并因此也相对于基材2是可移动的。为了形成可移动的布置，绝缘材料主体50具有两个中间主体58，在此被实施为凸耳。所述凸耳具有S形的路径，其允许压力主体54相对于主体52移动，特别是在垂直于基材2的方向上相对于主体52移动。

压力主体54还具有扁平的金属主体540，其在此以不限制一般性的方式布置在背离基材2一侧处的另一切除部内。所述扁平的金属成型主体540首先用于压力主体54的稳定性，以及附加地具有适于第一压力装置6的压力凸耳620的压力接触位置622的牢固的压力引入表面500。对于剩下部分而言，所述第一压力装置6以与根据图1所示的那样类似地实施。

示出一个辅助端子元件42，并且有利的是还有另外的辅助端子元件(未示出)和负载端子元件(也未示出)布置在绝缘材料主体50的主体52的切除部524内，并且如果合适的话也以固定在其位置下的方式或可移动但被束缚的方式被安装在该处。

图3示出根据本发明的布置，其在原理上类似于根据图1和图2所示的那些布置，并且从原则上而言具有相同的功能。附加地或备选地，在此示出负载端子元件40，而不是辅助端子元件。所述负载端子元件40朝向外侧突出通过功率半导体模块10的壳体8并且在外部可在该处进行接触。在功率半导体模块的内部，负载端子元件40突出通过子模块100的绝缘材料主体50的主体52的切除部524到达基材2。在该处负载端子元件40接触导体轨道22；它也可替代地接触连接装置3的导体轨道。

负载端子元件40与导体轨道22的导电接触在此被实施为力锁定接触，对于其形成而言，第一压力装置6具有按压到所述负载端子元件40上的弹性地作用的压力凸耳640。在此压力介导主体(此处未示出)可优选布置在压力凸耳640和负载端子元件40之间，所述压力介导主体形成负载端子元件和压力凸耳之间的电绝缘。

第一压力装置6在此以两部分式(bipartite)的方式实施，其具有两个金属成型主体。该压力装置的第一部分金属成型主体62以在原理上与根据图1和图2所示相同的方式实施，但弹性地作用的压力凸耳620不直接按压到第二压力装置5的压力引入表面上，而是通过压力介导主体7按压到第二压力装置5的压力引入表面上，该压力介导主体7以简单的方式实施为刚性塑料主体。

第一压力装置6的第二部分金属成型主体64用于将上述压力引入到负载端子元件24上。所述第二部分金属成型主体64还具有凹部642，第一部分成型主体62的压力凸耳620延伸通过该凹部以便将压力引入到第二压力装置5上。在该构造中，第一压力装置6的第一部分金属成型主体62和第二部分金属成型主体64形成堆叠，其中第一部分成型主体62在第二部分成型主体64背离基材2的一侧支承在第二部分成型主体64上。从原则上而言，在堆叠中的顺序也可以颠倒，这样则可能不需要第一部分的压力凸耳延伸通过其的第二部分成型主体的切除部。

图4示出根据本发明的布置，其在原理上类似于根据图1至图3所示的那些布置，并且从原则上而言具有相同的功能。该图示出布置在子模块100和第一压力装置6之间的附加的驱动电路板9。后者(即第一压力装置6)在此以导电和力锁定的方式连接到子模块100的辅助端子元件42，其被实施为接触弹簧并通过示例的方式形成功率半导体组件24的控制端子。

在这种构造中，驱动电路板9具有切除部92，压力介导主体7布置在该切除部中并将第一压力装置6的压力凸耳620的压力传递到第二压力装置5。

图5示出根据本发明的布置，其在原理上非常类似于根据图3所示的那些布置，并且从原则上而言具有相同的功能。与此相反，在此第一压力装置6的第二部分金属成型主体64以如此的方式实施以使得它具有相对于第一部分金属成型主体的压力凸耳620强制锁定的另一个压力凸耳650，其中两个压力凸耳累加地相互作用，即两个凸耳的压缩力加起来以便形成共同的压缩力。

图6以三维分解视图示出根据本发明的布置1的另一构造。该布置包括被实施为液体冷却装置的冷却装置16。三个子模块100布置在所述冷却装置16上，所述子模块在原理上对应于根据图4所示的子模块。第二压力装置5在该图中可见，这些第二压力装置具有绝缘材料主体50，该绝缘材料主体包括主体52和压力主体54。压力元件56在该图中不可见。压力主体54还具有已经描述的扁平金属主体540，具有所述的功能。同样示出用于引导辅助端子元件42和负载端子元件40通过的在主体52上的切除部524。

辅助端子元件42在此被实施为接触弹簧，而负载端子元件40被实施为扁平金属成型主体，其突出通过功率半导体模块的壳体8并具有用于外部接触的切除部。外壳8本身在此以类似框架的方式实施。

进一步示出用于驱动子模块100的功率半导体组件的驱动电路板9。所述驱动电路板9布置在子模块100的正上方，其中其辅助端子元件42将子模块的基材连接到所述驱动电路板9。

驱动电路板9具有切除部92，压力介导主体7延伸通过该切除部。压力介导主体7通过分组装置70连接到彼此。在这种情况下，所述分组装置70以如此的方式实施以使得各个压力介导主体7可在必要的范围内彼此独立地移动。

压力介导主体7中的一些用于将压力从第一压力装置6的凸耳620传递到第二压力装置5。另外的压力介导主体7用于将压力从凸耳630传递到负载端子元件40，以便其力锁定连接到基材之一的所分配的导体轨道。

为了将压力引入到第一压力装置6，示出多个压力引入装置60，在此被实施为相对于冷却装置16的螺钉连接。作为该压力引入的结果，压力施加到第一压力装置6上，其压力经由压力凸耳620、经由压力介导主体7、经由第二压力装置5和连接装置3施加到功率半导体元件24上，以便将所述功率半导体组件从而将基材2在与其垂直的方向上按压到冷却装置16上，从而使得它们在该处进行热接触。