一种自由集电极纵向PNP管及其制备方法与流程

文档序号:12275111阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种自由集电极纵向PNP管,其特征在于,包括P型衬底,P型衬底中心设有N-阱,N-阱外侧的P型衬底上设有外P+埋层,N-阱中心设有内P+埋层,P型衬底上方覆盖有N-外延层,N-外延层由外向内嵌有外P+隔离区、N+隔离区与内P+隔离区,外P+隔离区、N+隔离区与内P+隔离区间隔设置,外P+隔离区的底部与外P+埋层的顶部相接,N+隔离区的底部与N-阱的顶部相接;内P+隔离区的底部与内P+埋层的顶部相接;N-外延层中心还设有N-基区,N-基区上设有N+基区,N-基区中心设有P+发射区;P+发射区顶部、N+基区顶部与内P+隔离区顶部分别引出发射极、基极与集电极。

2.一种制备权利要求1所述自由集电极纵向PNP管的方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1)取P型衬底,在P型衬底上采用N-阱氧化、光刻、腐蚀与磷注入工艺制备N-阱;

S2)采用光刻工艺,在N-阱外侧的P型衬底上以及N-阱中心分别制作外P+埋层图形与内P+埋层图形;

S3)通过外P+埋层图形与内P+埋层图形打开的窗口注入硼杂质,得到外P+埋层与内P+埋层;

S4)在P型衬底上生长单晶硅外延层,即N-外延层,N-外延层将P型衬底、N-阱、外P+埋层与内P+埋层全覆盖;

S5)在N-外延层上生长氧化层;

S6)采用光刻工艺,在N-外延层上制作N+隔离图形;

S7)通过N+隔离图形打开的窗口注入磷杂质,经过退火后,得到N+隔离区,N+隔离区的底部与N-阱的顶部相接;

S8)采用光刻工艺,在N-外延层上制作外P+隔离图形与内P+隔离图形;

S9)通过外P+隔离图形与内P+隔离图形打开的窗口注入硼杂质,得到外P+隔离区与内P+隔离区;外P+隔离区、N+隔离区与内P+隔离区交替间隔设置,外P+隔离区的底部与外P+埋层的顶部相接,内P+隔离区的底部与内P+埋层的顶部相接;

S10)采用光刻工艺,在N-外延层的中心位置制作N-基区图形;

S11) 通过N-基区图形打开的窗口注入硼杂质,得到N-基区;

S12) 通过光刻工艺,在N-基区上制作N+基区图形;

S13) 通过N+基区图形打开的窗口注入磷杂质,得到N+基区;

S14) 通过光刻工艺,在N-基区中心位置制作P+发射区图形;

S15) 通过P+发射区图形打开的窗口注入硼杂质,得到P+发射区;

S16) 制作引线得到权利要求1所述的自由集电极纵向PNP管。

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