一种自由集电极纵向PNP管及其制备方法与流程

文档序号:12275111阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种自由集电极纵向PNP管,包括P型衬底,P型衬底中心设有N‑阱,N‑阱外侧的P型衬底上设有外P+埋层,N‑阱中心设有内P+埋层,P型衬底上方覆盖有N‑外延层,N‑外延层由外向内嵌有外P+隔离区、N+隔离区与内P+隔离区,外P+隔离区、N+隔离区与内P+隔离区间隔设置,外P+隔离区的底部与外P+埋层的顶部相接,N+隔离区的底部与N‑阱的顶部相接;内P+隔离区的底部与内P+埋层的顶部相接;N‑外延层中心还设有N‑基区,N‑基区上设有N+基区,N‑基区中心设有P+发射区;发射极与N‑阱通过深磷短接,接器件工作电压,使N‑阱与P型衬底、内P+埋层形成的PN结构处于反偏状态,实现器件纵向集电自由,克服了传统纵向PNP管集电极必须固定在最低电位的缺点。

技术研发人员:姜楠;简崇玺;赵建强;陈计学;赵娟
受保护的技术使用者:华东光电集成器件研究所
文档号码:201610715458
技术研发日:2016.08.25
技术公布日:2017.02.22

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