半导体单元的制作方法

文档序号:12180474阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种半导体单元,包含基板;位于基板上方的缓冲结构;通道层,具有第一带隙,且位缓冲结构上方,包含第一部分及第一凸起部,其中第一凸出部位于第一部分之上,且具有第一顶面和连接第一顶面的第一倾斜侧面;阻障层,具有第二带隙大于第一带隙,且位于通道层上方,包含第二部分以及第二凸起部,其中第二部分位于第一部分之上,第二凸起部覆盖第一凸起部的第一顶面,且具有第二顶面和连接第二顶面的第二倾斜侧面,第二倾斜侧面平行于第一倾斜侧面;第一电极,位于第二凸起部上方;以及第二电极,位于阻障层的第二部分上方,且与第一电极相互分隔。

技术研发人员:冯天璟;张宗正
受保护的技术使用者:晶元光电股份有限公司
文档号码:201610741316
技术研发日:2016.08.26
技术公布日:2017.03.08

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