薄膜晶体管和利用其检测压力的方法、以及触控装置与流程

文档序号:12614020阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜晶体管,包括:

有源层;

源极和漏极,所述源极和漏极彼此间隔并且都与所述有源层连接;

第一绝缘层,其与所述有源层层叠设置;以及

压电层,其与所述源极和所述漏极间隔开并且通过所述第一绝缘层与所述有源层间隔开。

2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管,还包括栅极和第二绝缘层,其中,所述第二绝缘层将所述栅极与所述有源层间隔开,并且在垂直于所述有源层的方向上,所述第二绝缘层和所述第一绝缘层分别设置于所述有源层的相对的两侧。

3.根据权利要求1所述的薄膜晶体管,其中,在垂直于所述有源层的方向上,所述第一绝缘层设置于所述源极和漏极所在层与所述压电层之间。

4.根据权利要求1所述的薄膜晶体管,其中,在从所述源极到所述漏极的方向上,所述压电层的尺寸大于或等于所述源极和所述漏极之间的距离。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的薄膜晶体管,其中,在所述压电层被施加压力的情况下,所述压电层被配置为所述薄膜晶体管的栅极。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的薄膜晶体管,还包括承载所述有源层、源极、漏极、第一绝缘层和压电层的承载基板,其中,所述压电层设置于所述有源层的远离所述承载基板的一侧。

7.根据权利要求6所述的薄膜晶体管,其中,所述压电层位于所述源极和所述漏极所在层的远离所述有源层的一侧。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的薄膜晶体管,其中,所述压电层的材料包括柔性压电材料。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的薄膜晶体管,其中,所述压电层的材料包括高分子压电材料。

10.一种利用权利要求1至9中任一项所述的薄膜晶体管检测压力的方法,包括:

检测所述薄膜晶体管的源极和漏极之间的电流值;以及

根据所述电流值判断所述薄膜晶体管的压电层是否被施加压力或者所述压电层被施加的压力的大小。

11.一种触控装置,包括多个根据权利要求1或3或4所述的薄膜晶体管,其中,所述多个薄膜晶体管的压电层彼此间隔开。

12.根据权利要求11所述的触控装置,还包括:

多条第一信号线,其分别与所述多个薄膜晶体管的源极连接;以及

多条第二信号线,其分别与所述多个薄膜晶体管的漏极连接,其中,所述第二信号线与所述第一信号线的延伸方向相交。

13.根据权利要求11所述的触控装置,其中,

所述薄膜晶体管还包括第二绝缘层以及栅极,所述第二绝缘层设置于所述有源层上,所述栅极通过所述第二绝缘层与所述有源层间隔开;

所述触控装置还包括:

多条第一信号线,其分别与所述多个薄膜晶体管的源极连接;

多条第二信号线,其分别与所述多个薄膜晶体管的漏极连接;以及

多条第三信号线,其分别与所述多个薄膜晶体管的栅极连接,其中,所述第三信号线的延伸方向与所述第一信号线或所述第二信号线的延伸方向相交。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1