技术总结
本发明提供一种离子注入装置，增加了二次引出电极结构，该二次引出电极结构包括二次引出电源、位于分析筛选板面向法拉第杯一侧并连接二次引出电源的第一引出电极、及位于法拉第杯远离分析筛选板一侧并连接二次引出电源的第二引出电极，其中，第一、第二引出电极分别连接二次引出电源的正负两电极中不同的一个，从而可在所述第一、第二引出电极之间构成一个具有特定指向方向的平行电场，能够引导经过分析筛选结构的离子束轰击在特定区域，且所述第一引出电极具有对应位于引出缝两侧的平行设置的两电极板，从而可以向穿过分析筛选板的离子束提供一个指向两块电极板中间的力，进而可改善由于真空度变差而导致离子束发散的问题。
技术研发人员：李书晓
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201610877160
技术研发日：2016.10.08
技术公布日：2017.03.01