一种改善多孔硅纵向物理结构和光学特性均匀性的方法与流程

文档序号:12369743阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种改善多孔硅纵向物理结构和光学特性均匀性的方法,其特征在于,在制备多孔硅过程中,通过逐渐均匀升高腐蚀液的腐蚀温度,实现以下目的:一方面,在正常的恒电流密度的腐蚀条件下,随腐蚀深度的增加,多孔度变大或折射率变小;另一方面,随着腐蚀液温度的逐渐增加,氢氟酸分子纵向腐蚀硅的能力越大,导致多孔硅纵向多孔度随腐蚀液温度的升高而减少,两种趋势达到动态平衡,从而导致多孔硅多孔度在纵向方向上保持一致。

2.根据权利要求1所述的改善多孔硅纵向物理结构和光学特性均匀性的方法,其特征在于,在腐蚀时间内,腐蚀液的温度增加量为在腐蚀液初始温度基础上增加2-30℃,并匀速升高腐蚀液的温度。

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