技术总结
本发明公开了一种热释电探测器吸收层及其表面金字塔阵列结构的制备方法，涉及热释电探测器电子技术领域。本发明提供的金字塔阵列结构能够解决现有镍铬或其他材质吸收层在红外波段反射率高的问题，通过在现有吸收层表面刻蚀形成由多个微型金字塔单元以m×n方式紧密排列组成金字塔阵列结构，其中，m与n均为正整数，使得红外辐射经过多次反射并逐渐被结构吸收，进而有效降低吸收层对红外辐射的反射率，从而达到提高探测器的电流响应、电压响应以及光电转换效率。该种金字塔阵列结构可以通过制备工艺中的参数对抗反射效果进行调控，并且其制备方法简单、成本低，有利于实现工业化生产，应用于热释电探测器以优化其性能。
技术研发人员：王涛;伍浏权;梁志清;刘子骥;蒋亚东
受保护的技术使用者：电子科技大学
文档号码：201610959196
技术研发日：2016.10.28
技术公布日：2017.01.25