技术总结
本发明提供一种基于亚波长光栅的谐振增强型紫外光探测器及制备方法，该紫外光探测器包括衬底、亚波长光栅层、外延层，所述外延层上设有n型接触电极和p型接触电极，所述亚波长光栅层图案为周期性或非周期性光栅图案；利用蓝宝石材料具有较大折射率的特点，获得与CMOS工艺兼容的纳米尺度高折射率差的亚波长光栅；在宽光谱范围内实现高量子效率：利用亚波长光栅的宽光谱光反射特性，使入射光通过吸收区后被亚波长光栅反射，再次通过器件吸收区，实现吸收增强，提高器件的量子效率，同时获得覆盖光纤通信长波长低损耗窗口的宽光谱响应(大于400nm)；并且本发明器件及其制备过程成本低，工艺简单，易于实现。
技术研发人员：范鑫烨;白成林;张霞;房文敬;王欢欢;王秋国
受保护的技术使用者：聊城大学
文档号码：201611074873
技术研发日：2016.11.28
技术公布日：2017.05.17