基于石墨烯的位置灵敏光探测器的制作方法

技术特征：

1.一种基于石墨烯的位置灵敏探测器，其特征在于，所述的探测器器包括Si/SiO₂衬底、设在Si/SiO₂衬底上的石墨烯和设在石墨烯上的金属电极；

所述的Si/SiO₂衬底由底部的Si和Si上方的SiO₂组成；

所述的Si是轻掺杂Si衬底，其电阻率为1-100Ωcm；

所述的SiO₂的厚度为50-500nm；

所述的石墨烯是单层、双层或3-10层的少层石墨烯；

所述的金属电极为金、镍或铂。

2.根据权利要求1所述的基于石墨烯的位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）在Si/SiO₂衬底上通过微机械剥离法制备石墨烯；

2）通过电子束曝光和金属薄膜沉积技术在石墨烯上沉积两个电极。