技术总结
本发明提供了一种基于石墨烯的位置灵敏探测器，所述的探测器器包括Si/SiO2衬底、设在Si/SiO2衬底上的石墨烯和设在石墨烯上的金属电极；所述的Si/SiO2衬底由底部的Si和Si上方的SiO2组成；所述的Si是轻掺杂Si衬底，其掺杂浓度范围为1014‑1016 cm‑3，电阻率为1‑100Ωcm；所述的SiO2的厚度为50‑500nm；所述的石墨烯是单层、双层或3‑10层的少层石墨烯；所述的金属电极为金、镍或铂。本发明的有益效果如下：基于本发明所获得的基于石墨烯的位置灵敏探测器，可以解决现有位置灵敏探测器探测微弱光的问题。
技术研发人员：梁铮;倪振华;王文辉;丁荣
受保护的技术使用者：泰州巨纳新能源有限公司;泰州新飞光电有限公司
文档号码：201611234302
技术研发日：2016.12.28
技术公布日：2017.06.06