技术总结
本发明涉及一种热离子转换器的热‑电转化方法，S1通过原子层沉积技术在p++硅基层上注浇20nm厚的HfO2层，以作为注浇介质；S2通过化学气相沉积法在铜箔上制备石墨烯；S3将石墨烯转移到HfO2层上，并作为转换器阳极；S4在阳极上施加背栅电压VG，用以通过静电注浇效应控制阳极逸出功；S5通过五轴机械手控制阳极和阴极之间的距离；S6加热阴极到750℃并维持3小时，以稳定此转换器；S7继续加热并维持阴极至在1000℃。一种热离子转化器，包括阴极、阳极和两电极之间的间隙，阳极为背栅石墨烯阳极，阴极为钡钨阴极，间隙的距离为17μm。本发明的有益效果是：同时解决了阳极逸出功过高与空间电荷势垒问题。
技术研发人员：常帅;袁弘渊;黄明柱
受保护的技术使用者：武汉科技大学
文档号码：201611270891
技术研发日：2016.12.24
技术公布日：2017.06.13