技术总结
一种薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，包括：基板；位于所述基板上的有源层、栅极、源极和漏极，所述有源层由沟道区、源极区和漏极区组成，所述源极与所述漏极位于所述有源层背离基板的一侧，所述源极区、漏极区分别和所述源极和所述漏极接触；位于所述有源层背离所述基板一侧的光阻，用于阻挡光线从所述有源层背离基板一侧照射到所述沟道区上，所述光阻为不透光的正性光阻或负性光阻，且所述沟道区在所述基板的投影落在所述光阻在所述基板的投影范围内。利用光阻遮挡照射向有源层沟道区的光线，有效防止沟道区因外界光线的照射产生光生载流子而导致漏电流。
技术研发人员：李元行;朱绎桦;蔡寿金
受保护的技术使用者：厦门天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司
文档号码：201620391571
技术研发日：2016.05.03
技术公布日：2016.12.07