1.一种硅片甩干用防滑垫片,其特征在于:包括一可插入硅片片盒H面(5)的陪片(1),陪片(1)上对称设置有两根防滑杆(2),两根防滑杆(2)的端部均设置有两个片盒卡轮(3),且两个片盒卡轮(3)之间具有间隙(4),以使陪片(1)在插入硅片片盒H面(5)的插槽内后,硅片片盒U面(6)卡入到该间隙(4)内。
2.根据权利要求1所述的一种硅片甩干用防滑垫片,其特征在于:所述每根防滑杆(2)上两个片盒卡轮(3)中至少一个与防滑杆(2)活动连接,以调整两个片盒卡轮(3)之间间隙(4)的大小。
3.根据权利要求1所述的一种硅片甩干用防滑垫片,其特征在于:所述陪片(1)远离两根防滑杆(2)的一端具有圆弧状凸起(101),以便于插入硅片片盒H面(5)的插槽中,所述两根防滑杆(2)之间的位置具有向圆弧状凸起(101)一侧凹陷的凹陷部(102),且在防滑杆(2)与圆弧状凸起(101)之间的位置分布有若干通透孔(103),以便于清洗液穿过通透孔(103)对片盒中的硅片进行清洗。