技术总结
一种硅片甩干用防滑垫片，包括一可插入硅片片盒H面的陪片，陪片上对称设置有两根防滑杆，两根防滑杆的端部均设置有两个片盒卡轮，且两个片盒卡轮之间具有间隙，以使陪片在插入硅片片盒H面的插槽内后，硅片片盒U面卡入到该间隙内。本实用新型通过设置可插入硅片片盒H面的陪片以及在陪片上设置两根防滑杆，并在防滑杆的端部分别设置两个卡住硅片片盒U面的片盒卡轮，从而构成了一个稳定的支撑结构，在下降过程中，防滑杆就能有效的阻挡硅片的滑出，陪片、防滑杆和片盒卡轮均为聚丙烯材料加工而成，具有良好的耐热、耐腐蚀性，可以满足通过清洗过程中的加热化学液槽。
技术研发人员：张倩;宋松伟;王雷;熊诚雷;崔小换
受保护的技术使用者：麦斯克电子材料有限公司
文档号码：201620462827
技术研发日：2016.05.20
技术公布日：2016.12.07