一种高效率氮化镓基发光二极管芯片的制作方法

文档序号:11859289阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高效率氮化镓基发光二极管芯片,包括衬底(1)和基底(2),其特征在于:所述衬底(1)的下方设有氮化镓填充层(3),所述衬底(1)的上表面和下表面上均设有凸起(4),且位于衬底(1)下表面上的凸起(4)伸入氮化镓填充层(3)内;所述氮化镓填充层(3)下表面上且邻近两端分别设有量子阱(5)和N电极(6),所述量子阱(5)的下表面上设有扩展电极(7),扩展电极(7)的下表面上设有P型蚀刻区(8),P型蚀刻区(8)内插有P电极(9);所述氮化镓填充层(3)、量子阱(5)、N电极(6)、扩展电极(7)和P型蚀刻区(8)外包裹有绝缘层(10),且N电极(6)和P电极(9)的下部伸入到绝缘层(10)外;所述基底(2)的上表面上设有钝化层(11),钝化层(11)的上表面上设有反射镜(12),反射镜(12)上设有N电极连接片(13)和P电极连接片(14),所述N电极连接片(13)和N电极(6)对应焊接,P电极连接片(14)和P电极(9)对应焊接。

2.根据权利要求1所述的一种高效率氮化镓基发光二极管芯片,其特征在于:所述凸起(4)的形状为等腰梯形。

3.根据权利要求2所述的一种高效率氮化镓基发光二极管芯片,其特征在于:所述凸起(4)的腰与其垂线存在的夹角范围在二十度至三十度之间。

4.根据权利要求1所述的一种高效率氮化镓基发光二极管芯片,其特征在于:所述衬底(1)上表面和下表面设有的凸起(4)相互对称。

5.根据权利要求1所述的一种高效率氮化镓基发光二极管芯片,其特征在于:所述衬底(1)为蓝宝石基板。

6.根据权利要求1所述的一种高效率氮化镓基发光二极管芯片,其特征在于:所述P电极(6)和N电极(9)均垂直于氮化镓填充层(3)沉积。

7.根据权利要求1所述的一种高效率氮化镓基发光二极管芯片,其特征在于:所述钝化层(11)为二氧化硅钝化层或氮化硅钝化层。

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