1.一种离子源，包括：气体电离装置(1)、离子光学系统(2)和等离子体桥式中和器(3)；其特征在于：所述离子源还包括用于检测等离子体电位径向分布的电位检测装置(4)，以及用于调整所述等离子体桥式中和器(3)位置的夹角调节装置(5)，所述电位检测装置(4)置于离子源的出射位置，并与所述夹角调节装置(5)连接。
2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述气体电离装置(1)包括放电室(11)以及内部的主阴极(12)、筒形阳极(13)和电磁线圈(14)；所述放电室(11)为圆筒形，所述主阴极(12)位于放电室(11)的上端，所述筒形阳极(13)围绕所述主阴极(12)设置，所述电磁线圈(14)缠绕在所述筒形阳极(13)外。
3.根据权利要求2所述的离子源，其特征在于，所述离子光学系统(2)包括屏栅(21)和加速栅(22)，所述屏栅(21)和加速栅(22)设置在所述放电室(11)的下端，且在同一中心线上轴向间隔设置。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的离子源，其特征在于，所述等离子体桥式中和器(3)安装在底座(6)上，所述夹角调节装置(5)与所述底座(6)连接控制所述底座(6)旋转。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的离子源，其特征在于，所述离子源的口径为15cm。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的离子源，其特征在于，所述等离子体桥式中和器(3)与离子束之间的径向距离为1.5～2.5cm。
7.根据权利要求1-3中任一项所述的离子源，其特征在于，所述等离子体桥式中和器(3)与离子光学系统(2)的轴向距离为3～6cm。