技术总结
本实用新型涉及一种离子源，包括：气体电离装置、离子光学系统和等离子体桥式中和器；所述离子源还包括用于检测等离子体电位径向分布的电位检测装置(4)，以及用于调整所述等离子体桥式中和器(3)位置的夹角调节装置(5)，所述电位检测装置(4)置于离子源的出射位置，并与所述夹角调节装置(5)连接。本实用新型可以在离子源采用不同的离子束参数时，根据等离子体电位径向分布来动态调整等离子体桥式中和器的位置，从而达到最佳的中和效果。
技术研发人员：刁克明
受保护的技术使用者：北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
文档号码：201621026077
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2017.03.15