石墨烯电容器的制作方法

文档序号:12514139阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种石墨烯电容器,属于电学元件领域,包括碳化硅支撑层,所述的碳化硅支撑层上依次层叠的设置有电极层和绝缘介质层,所述的电极层比所述的绝缘介质层多1层,所述的绝缘介质层和与其相邻的电极层形成电容器单元;所述的电极层至少一层材质为石墨烯;所述的绝缘介质层材质为碳化硅或压电材料,所述的绝缘介质层的厚度为50nm‑800nm;所述的电容器单元的数量为1‑500。本实用新型的石墨烯电容器具有导电性能好、比表面积大,电容大的优点。

技术研发人员:吴云龙;臧曙光;左岩
受保护的技术使用者:中国建筑材料科学研究总院
文档号码:201621310246
技术研发日:2016.12.01
技术公布日:2017.06.06

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