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图像传感器的制作方法
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来源:国知局
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图像传感器的制造方法与工艺
技术特征:
技术总结
一种图像传感器包括包含逻辑电路的下部基板和包含像素的上部基板。提供在上部基板上的晶体管具有相同导电类型。晶体管的每个包括:提供在上部基板中的源/漏区域;提供在上部基板上的上部栅电极;以及设置在上部基板和上部栅电极之间的硅氧化物层。硅氧化物层与上部基板和上部栅电极物理接触。
技术研发人员:
井原久典
受保护的技术使用者:
三星电子株式会社
技术研发日:
2017.01.12
技术公布日:
2017.08.18
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