一种真空系统及控制方法与流程

文档序号:12478160阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空系统,包括腔室、第一真空泵、控制器和用于检测所述腔室的真空度的检测装置,所述控制器与所述检测装置和所述第一真空泵相连,其特征在于,所述真空系统还包括用于输送第一气体的第一进气管,所述第一进气管与所述腔室相连,

所述控制器用于,控制所述第一真空泵开启,接收所述检测装置发送的真空度检测值,并将所述真空度检测值与预设的第一阈值相比较;当所述真空度检测值大于所述第一阈值时,判断所述第一真空泵的开启时长是否达到预设的第一时长,当所述第一真空泵的开启时长达到预设的第一时长时,控制所述第一真空泵待机,并控制所述第一进气管开启。

2.根据权利要求1所述的真空系统,其特征在于,还包括用于输送第二气体的第二进气管,所述第二进气管与所述第一真空泵相连,所述控制器还用于,在控制第一真空泵待机之后,控制所述第二进气管开启。

3.根据权利要求1或2所述的真空系统,其特征在于,还包括第二真空泵,所述第二真空泵与所述腔室和所述控制器相连;

所述控制器还用于,当所述真空度检测值小于或等于所述第一阈值时,控制所述第一真空泵待机,并控制所述第二真空泵开启;将所述真空度检测值与预设的第三阈值相比较,当所述真空度检测值小于或等于所述第三阈值时,控制所述第二真空泵待机。

4.根据权利要求1所述的真空系统,其特征在于,还包括多个进气支管,所述各进气支管的一端与所述第一进气管相连,所述各进气支管的另一端分别与所述腔室的一个侧壁相连,其中,所述腔室的各侧壁连接一个所述进气支管。

5.根据权利要求4所述的真空系统,其特征在于,所述进气支管与所述腔室侧壁相连的一端设置有喷嘴,所述喷嘴位于所述腔室内。

6.根据权利要求2所述的真空系统,其特征在于,所述第一气体和所述第二气体为氮气。

7.一种控制方法,其特征在于,包括以下步骤:

开启第一真空泵,以对腔室进行抽真空,并检测所述腔室内的真空度;

将真空度检测值与预设的第一阈值相比较,若真空度检测值大于所述第一阈值,则判断所述第一真空泵的开启时长是否达到预设的第一时长,若是,则控制所述第一真空泵待机,并向所述腔室内通入第一气体。

8.根据权利要求7所述的控制方法,其特征在于,所述控制所述第一真空泵待机之后,所述方法还包括:向所述第一真空泵内通入第二气体。

9.根据权利要求8所述的控制方法,其特征在于,所述向所述腔室内通入第一气体之后,所述方法还包括:

将真空度检测值与预设的第二阈值相比较,若真空度检测值大于或等于所述第二阈值,则停止向所述腔室内通入第一气体,且停止向所述第一真空泵内通入第二气体,并开启第一真空泵,以循环多次。

10.根据权利要求7-9任一项所述的控制方法,其特征在于,所述方法还包括:

若真空度检测值小于或等于所述第一阈值,则控制所述第一真空泵待机,并开启所述第二真空泵;

将真空度检测值与预设的第三阈值相比较,若真空度检测值小于或等于所述第三阈值,则控制所述第二真空泵待机。

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