晶舟构造的制作方法

文档序号:15048793发布日期:2018-07-27 23:32阅读:164来源:国知局

本发明是关于一种晶舟构造,其用以存放半导体晶圆。



背景技术:

在半导体工艺中,为了保护晶圆,会将晶圆存放于晶舟中,以利存放或运输。

在现有习知的技术中,是在该晶舟上设有储存槽,并将晶圆存放于该储存槽中,而存取晶圆的方式有垂直抽放方式及水平抽放方式,但不论是垂直抽放方式或水平抽放方式,皆不利于操作人员或机械手臂拿取。

以垂直抽放方式来说,由于晶圆是以立式存放于该储存槽中,因此拿取晶圆时,必须以垂直方式拿取,否则容易碰触相邻的晶圆,而造成晶圆碎裂,此外在存放或拿取晶圆时,若拿取不当则会造成晶圆掉落而损毁。

以水平抽放方式来说,由于晶圆是以水平方式存放于该储存槽中,因此在抽离晶圆时,会造成该晶圆摩擦该晶舟,相同地若拿取不当也会造成晶圆掉落而损毁。



技术实现要素:

本发明的目的是借由多个载体活动地枢接于壳体的轴杆,使各该载体的承载座可选择性地被容置于该壳体的容置空间中或离开该容置空间,以利拿取或存放晶圆。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种晶舟构造,包含壳体及多个载体,该壳体具有轴杆及容置空间,各该载体具有枢接孔及承载座,该承载座用以承载晶圆,该载体以该枢接孔活动地枢接于该轴杆,该载体以该轴杆选择性地摆动,使该承载座容置于该容置空间中或离开该容置空间。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的晶舟构造,其中该承载座具有框体及容置槽,该框体环绕该容置槽,该框体具有第一开口,该第一开口连通该容置槽,该容置槽用以容置该晶圆。

前述的晶舟构造,其中该第一开口实质为圆形开口,该第一开口的直径不小于该晶圆的直径。

前述的晶舟构造,其中该承载座具有载板,该载板连接该框体,且该载板位于该容置槽中,该载板用以承载该晶圆。

前述的晶舟构造,其中该框体的内侧壁为倾斜侧壁,该内侧壁的壁面朝向该第一开口。

前述的晶舟构造,其中该载体具有握把部,该握把部连接该承载座的该框体。

前述的晶舟构造,其中该壳体具有第二限位杆,该容置空间具有第二开口,该第二开口位于该轴杆与该第二限位杆之间,当该承载座容置于该容置空间时,该握把部被挡止于该第二限位杆。

前述的晶舟构造,其中当该握把部被挡止于该第二限位杆时,该握把部位于该容置空间外。

前述的晶舟构造,其中该握把部设有第二磁体,当该握把部被挡止于该第二限位杆时,该握把部以该第二磁体吸附于该第二限位杆。

前述的晶舟构造,其中该壳体具有第一限位杆,该载体具有枢接部,该枢接部连接该承载座的该框体,该枢接孔设置于该枢接部,当该承载座离开该容置空间后,该枢接部被挡止于该第一限位杆。

前述的晶舟构造,其中该枢接部设有第一磁体,当该枢接部被挡止于该第一限位杆时,该枢接部以该第一磁体吸附于该第一限位杆。

前述的晶舟构造,其中该壳体具有支撑件,该支撑件具有多个支撑部,当该载体容置于该容置空间时,该支撑部支撑该承载座。

前述的晶舟构造,其中该壳体具有第二限位杆,该容置空间具有第二开口,该第二开口位于该轴杆与该第二限位杆之间,该轴杆、该第二限位杆及该支撑件构成三角形支撑架。

前述的晶舟构造,其另包含多个间隔件,该间隔件设置于轴杆且位于相邻的两个载体之间。

前述的晶舟构造,其中该载体具有枢接部,该枢接孔设置于该枢接部,该间隔件位于相邻的两个枢接部之间。

前述的晶舟构造,其另包含多个轴承,该轴承具有穿孔,该轴承结合于该载体的枢接部,该枢接孔设置于该枢接部,该穿孔对应该枢接孔,该轴杆贯穿该枢接孔及该穿孔。

前述的晶舟构造,其中该框体具有至少一个取放孔,该取放孔侧向连通该容置槽。

前述的晶舟构造,其另包含挡止杆,该挡止杆活动地枢接于该壳体,当该承载座容置于该容置空间时,该握把部被限位于该第二限位杆与该挡止杆之间。

前述的晶舟构造,其中该载体设有标记。

前述的晶舟构造,其中该载体具有握把部,该标记设置于该握把部。

本发明借由该载体活动地枢接于该轴杆,因此当欲存放该晶圆时,该载体以该轴杆摆动并使该承载座离开该容置空间,以显露出该承载座,即可将该晶圆存放于该承载座上,当该晶圆存放于该承载座后,该载体再以该轴杆摆动,使该晶圆随着该承载座容置于该容置空间中。

当欲拿取存放在该承载座的该晶圆时,相同地,该载体以该轴杆摆动并使该承载座离开该容置空间,以显露出存放在该承载座的该晶圆,即可拿取存放于该承载座的该晶圆。

本发明的该晶舟构造借由该载体活动地枢接于该轴杆,使得所述多个承载座可分别显露于该壳体外,因此不会造成存放或拿取该晶圆时,碰撞相邻的晶圆而损坏或造成该晶圆掉落。

本发明在技术上有显着的进步,并具有明显的积极效果,诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。

附图说明

图1是本发明晶舟构造的立体图。

图2是本发明晶舟构造的分解立体图。

图3是本发明晶舟构造的承载座的剖视图。

图4是本发明晶舟构造的剖视图。

图5是本发明晶舟构造的动作示意图。

图6是本发明晶舟构造的动作示意图。

【符号说明】

100:晶舟构造110:壳体

111:轴杆112:容置空间

112a:第二开口113:第一限位杆

114:第二限位杆115:支撑件

115a:支撑部120:载体

121:枢接孔122:承载座

122a:框体122b:容置槽

122c:第一开口122d:载板

122e:内侧壁122f:取放孔

123:握把部124:枢接部

125:标记130:间隔件

140:轴承141:穿孔

150:挡止杆w:晶圆

m1:第一磁体m2:第二磁体

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明提出的晶舟构造其具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。

请参阅图1、图2及图3,本发明的一种晶舟构造100,其用以储放多个晶圆w,该晶舟构造100包含壳体110及多个载体120,该壳体110具有轴杆111及容置空间112,各该载体120分别具有枢接孔121及承载座122,该承载座122用以承载该晶圆w(请参阅图3),该载体120以该枢接孔121活动地枢接于该轴杆111,该载体120以该轴杆111为中心选择性地摆动,以使该承载座122容置于该容置空间112中或离开该容置空间112,较佳地,该载体120设有标记125,该标记125可选自于计数标记,如数字,以利于操作人员辨识,而不需逐一计算。

请参阅图2、图3、图4及图5,该承载座122具有框体122a及容置槽122b,该框体122a环绕该容置槽122b,该载体120具有枢接部124,该枢接部124连接该承载座122的该框体122a,该枢接孔121设置于该枢接部124。

请参阅图2、图4及图5,在本实施例中,该晶舟构造100包含多个间隔件130及多个轴承140,各该间隔件130设置于轴杆111且位于相邻的两个载体120之间,该轴承140具有穿孔141,该轴承140结合于该载体120的该枢接部124,在本实施例中,该轴承140以结合件(图未绘出,如螺丝)锁固于该枢接部124,该穿孔141对应该枢接孔121,该轴杆111贯穿该枢接孔121及该穿孔141,该载体120以该轴承140枢接于该轴杆111,在本实施例中,该间隔件130位于相邻的两个枢接部124之间,其用以间隔相邻的两个载体120,使相邻的两个载体120具有间隔距离,且必要时,可依需求更换该间隔件130,以借由该间隔件130调整相邻的两个载体120之间的间隔距离。

请参阅图2、图5及图6,该壳体110具有第一限位杆113,当该载体120以该轴杆111为中心摆动,使该承载座122离开该容置空间112后,该枢接部124被挡止于该第一限位杆113,在本实施例中,该枢接部124设有第一磁体m1,当该枢接部124被挡止于该第一限位杆113时,该枢接部124以该第一磁体m1吸附于该第一限位杆113,以避免不当外力触动该载体120,而使该承载座122返回该容置空间112,且可避免该载体120产生晃动而造成该晶圆w掉落。

请参阅图1及图2,在本实施例中,该载体120具有握把部123,该握把部123连接该承载座122的该框体122a,该握把部123可供操作人员握持,以驱动该载体120选择性地摆动,较佳地,该标记125设置于该握把部123。

请参阅图3,该框体122a具有第一开口122c及内侧壁122e,在本实施例中,该内侧壁122e为倾斜侧壁,该内侧壁122e的壁面朝向该第一开口122c,该第一开口122c连通该容置槽122b,该容置槽122b用以容置该晶圆w,在本实施例中,该第一开口122c实质为圆形开口,该第一开口122c的直径不小于该晶圆w的直径,较佳地,该承载座122具有载板122d,该载板122d连接该框体122a,且该载板122d位于该容置槽122b中,该载板122d用以承载该晶圆w。

请参阅图2、图5及图6,在本实施例中,该框体122a具有至少一个取放孔122f,该取放孔122f侧向连通该容置槽122b,当操作人员欲拿取或存放该晶圆w时,该取放孔122f可供操作人员的手容置,以稳固的将该晶圆w由该承载座122中取出,或将该晶圆w存放于该承载座122中。

请参阅图1、图2及图5,该壳体110具有第二限位杆114,该容置空间112具有第二开口112a,该第二开口112a位于该轴杆111与该第二限位杆114之间,当该承载座122容置于该容置空间112时,该握把部123被挡止于第二限位杆114,且该握把部123位于该容置空间112外。

请参阅图2、图5及图6,在本实施例中,该握把部123设有第二磁体m2,当该承载座122容置于该容置空间112且该握把部123被挡止于该第二限位杆114时,该握把部123以该第二磁体m2吸附于该第二限位杆114,以避免不当外力驱动该载体120,而使承载座122离开该容置空间112。

请参阅图1、图2、图4及图5,该壳体110具有支撑件115,该支撑件115具有多个支撑部115a,当该载体120容置于该容置空间112时,该支撑部115a支撑该承载座122,请参阅图4及图5,较佳地,该轴杆111、该第二限位杆114及该支撑件115构成三角形支撑架(请参阅图5,附图中以点-链线连接表示),当该载体120以该轴杆111为中心选择性地摆动至该容置空间112中,由于该枢接孔121枢接于该轴杆111、该握把部123被挡止于该第二限位杆114且该承载座122被该支撑件115支撑,因此使得该载体120可稳固地容置于该容置空间112中。

请参阅图1、图2、图5及图6,该晶舟构造100其另包含挡止杆150,该挡止杆150活动地枢接于该壳体110,请参阅图5,当该承载座122容置于该容置空间112时,该握把部123被限位于该第二限位杆114与该挡止杆150之间,以避免该承载座122因不当外力驱动而离开该容置空间112,请参阅图5及图6,当欲驱动该承载座122时,将该挡止杆150摆动并脱离该握把部123,即可驱动该承载座122,使该承载座122离开该容置空间112,以利存取该晶圆w。

以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1