晶舟构造的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明是关于一种晶舟构造，其用以存放晶圆，该晶舟构造包含壳体及多个载体，该载体用以承载晶圆，该载体活动地枢接于该壳体的轴杆，该载体可选择性地容置于该壳体的容置空间中或离开该容置空间，以利拿取或存放该晶圆。

技术研发人员：郭建铭;张泓清
受保护的技术使用者：颀邦科技股份有限公司
技术研发日：2017.03.14
技术公布日：2018.07.27