石英舟冷却柜的制作方法

本发明涉及太阳能电池片加工技术领域，尤其是涉及一种石英舟冷却柜。

背景技术：

目前太阳电池制程工艺中，在扩散及pda下片时，需将刚出炉的硅片由250℃降到常温25℃，现有方式为暴露在车间环境中自然降温，降至常温后下片进入下道工序，这种降温方法的降温时间长，一轮降温时间需35分钟，降温环境差，硅片容易受污染，造成不良片。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术中硅片的降温方法存在降温时间长，一轮降温时间需35分钟，降温环境差，硅片容易受污染，造成不良片的问题，提供一种石英舟冷却柜。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种石英舟冷却柜，包括柜体，所述柜体包括进风腔室、存风腔室和冷却腔室，所述进风腔室上开设有进风口，所述进风口内固定安装有初效过滤器，所述进风腔室内安装有风机，所述风机的出气口与所述存风腔室连通，所述存风腔室与所述冷却腔室平行设置，所述存风腔室与所述冷却腔室之间开设有吹风口，所述吹风口内固定安装有高效过滤器，所述冷却腔室的上方开设有排风口，所述冷却腔室上开设有若干气管接口，所述冷却腔室内设置有压差表。

本发明在使用前，在气管接口处接入氮气泵，将装满硅片的石英舟放置于冷却柜中的隔板上，关闭柜门后运行设备，风机启动，向进风腔室内吸风，进入进风腔室的气体经风机后进入存风腔室，存风腔室内的气流由吹风口进入冷却腔室，气流经过硅片，带走硅片热量，由顶部排风口排出；在进风口设有初效过滤，吹风口设有高效过滤，确保送风清洁。柜体装有压差表，用于观察冷却腔室内的压力，在冷却腔室负压时，向冷却腔室内充入氮气，使冷却腔室保持正压。

所述冷却腔室内固定安装有若干用于存放石英舟的隔板，将石英舟放置在隔板上，可以放置较多的石英舟，提高本发明的冷却柜的冷却效率。

所述冷却腔室柜门的边框为304不锈钢，门芯为钢化玻璃，透明的柜门，便于观察柜体内的石英舟上硅片的冷却情况。

为了使柜体具有不同的高度，所述柜体底面的四个角上均固定安装有可调底脚，使本发明的冷却柜的用途更广。

所述柜体底面的四个角上均固定安装有脚轮，柜体底面安装可以滚动的滚轮，便于移动本发明的冷却柜。

本发明的有益效果是:本发明的石英舟冷却柜，在使用前，在气管接口处接入氮气泵，将装满硅片的石英舟放置于冷却柜中的隔板上，关闭柜门后运行设备，风机启动，向进风腔室内吸风，进入进风腔室的气体经风机后进入存风腔室，存风腔室内的气流由吹风口进入冷却腔室，气流经过硅片，带走硅片热量，由顶部排风口排出；在进风口设有初效过滤，吹风口设有高效过滤，确保送风清洁。柜体装有压差表，用于观察冷却腔室内的压力，在冷却腔室负压时，向冷却腔室内充入氮气，使冷却腔室保持正压；本发明缩短了硅片降温时间，提供了硅片缓存空间，减少了硅片降温时所受的污染，减少了不良片的产生。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的主视图；

图2是本发明的剖视图。

图中：1.柜体，2.进风腔室，3.存风腔室，4.冷却腔室，5.进风口，6.初效过滤器，7.风机，8.吹风口，9.高效过滤器，10.排风口，11.气管接口，12.隔板，13.边框，14.门芯，15.可调底脚，16.脚轮。

具体实施方式

现在结合附图对本发明做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

如图1所示的一种石英舟冷却柜，包括柜体1，所述柜体1包括进风腔室2、存风腔室3和冷却腔室4，所述进风腔室2上开设有进风口5，所述进风口5内固定安装有初效过滤器6，所述进风腔室2内安装有风机7，如图2所示，所述风机7的出气口与所述存风腔室3连通，所述存风腔室3与所述冷却腔室4平行设置，所述存风腔室3与所述冷却腔室4之间开设有吹风口8，所述吹风口8内固定安装有高效过滤器9，所述冷却腔室4的上方开设有排风口10，所述冷却腔室4上开设有若干气管接口11，所述冷却腔室4内设置有压差表，所述冷却腔室4内固定安装有若干用于存放石英舟的隔板12，将石英舟放置在隔板12上，可以放置较多的石英舟，提高本发明的冷却柜的冷却效率。

所述冷却腔室4柜门的边框13为304不锈钢，门芯14为钢化玻璃，透明的柜门，便于观察柜体1内的石英舟上硅片的冷却情况。

为了使柜体1具有不同的高度，所述柜体1底面的四个角上均固定安装有可调底脚15，使本发明的冷却柜的用途更广。

所述柜体1底面的四个角上均固定安装有脚轮16，柜体1底面安装可以滚动的滚轮，便于移动本发明的冷却柜。。

本发明在使用前，在气管接口11处接入氮气泵，将装满硅片的石英舟放置于冷却柜中的隔板12上，关闭柜门后运行设备，风机7启动，向进风腔室2内吸风，进入进风腔室2的气体经风机7后进入存风腔室3，存风腔室3内的气流由吹风口8进入冷却腔室4，气流经过硅片，带走硅片热量，由顶部排风口10排出；在进风口5设有初效过滤，吹风口8设有高效过滤，确保送风清洁。柜体1装有压差表，用于观察冷却腔室4内的压力，在冷却腔室4负压时，向冷却腔室4内充入氮气，使冷却腔室4保持正压。

所述冷却腔室4内固定安装有若干用于存放石英舟的隔板12，将石英舟放置在隔板12上，可以放置较多的石英舟，提高本发明的冷却柜的冷却效率。

所述冷却腔室4柜门的边框13为304不锈钢，门芯14为钢化玻璃，透明的柜门，便于观察柜体1内的石英舟上硅片的冷却情况。

为了使柜体1具有不同的高度，所述柜体1底面的四个角上均固定安装有可调底脚15，使本发明的冷却柜的用途更广。

所述柜体1底面的四个角上均固定安装有脚轮16，柜体1底面安装可以滚动的滚轮，便于移动本发明的冷却柜。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种石英舟冷却柜，在使用前，在气管接口处接入氮气泵，将装满硅片的石英舟放置于冷却柜中的隔板上，关闭柜门后运行设备，风机启动，向进风腔室内吸风，进入进风腔室的气体经风机后进入存风腔室，存风腔室内的气流由吹风口进入冷却腔室，气流经过硅片，带走硅片热量，由顶部排风口排出；在进风口设有初效过滤，吹风口设有高效过滤，确保送风清洁。柜体装有压差表，用于观察冷却腔室内的压力，在冷却腔室负压时，向冷却腔室内充入氮气，使冷却腔室保持正压；本发明缩短了硅片降温时间，提供了硅片缓存空间，减少了硅片降温时所受的污染，减少了不良片的产生。

技术研发人员：吴俊;张凯胜;姚伟忠
受保护的技术使用者：常州亿晶光电科技有限公司
技术研发日：2017.05.19
技术公布日：2017.08.01