技术特征：
技术总结
本发明涉及一种离子源的电源系统及离子源，所述离子源包括：主阴极、弧板阳极、屏栅、加速栅和中和器；所述电源系统包括：阴极电源、弧极电源、屏栅电源、加速电源、中和电源和耦合电源；以及检测单元，与所述阴极电源、弧极电源、屏栅电源、加速电源、中和电源和耦合电源连接，用于测量各个电源的电压或电流信号反馈值；电源控制器，用于根据所述检测单元测得的电压或电流信号反馈值，控制各个电源的电压或电流信号等于或接近设定值。本发明根据反馈的各路电源电压或电流信号，对各路电源进行自动调节，克服了现有离子源各路电源独立工作、手动调整的缺陷，能够使离子束自动调谐至最佳传送状态，从而保证离子源系统稳定、可靠、高效运行。
技术研发人员：刁克明
受保护的技术使用者：北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2017.10.20