一种两阶段式电泳工艺的制作方法

本申请属于硅片湿法刻蚀
技术领域：
，具体地说，涉及一种两阶段式电泳工艺。
背景技术：
：gpp是glassivationpassivationparts的缩写，是玻璃钝化类器件的统称。该产品就是在现有产品普通硅整流扩散片的基础上对拟分割的管芯p/n结面四周烧制一层玻璃，玻璃与单晶硅有很好的结合特性，使p/n结获得最佳的保护，免受外界环境的侵扰，提高器件的稳定性，信赖性极佳。目前使用的在单晶硅表面涂覆玻璃钝化层的方法是采用电泳法，通常达到所需要的玻璃层厚度的话，电泳液需要一定的浓度，而玻璃粉浓度高的电泳液进行电泳常常会出现很多不良，比如电泳过程不稳定、槽内玻璃造型不对称、甚至出现批量槽内玻璃不良的产品，导致gpp质量存在隐患。不良情况如图1和图3所示。技术实现要素：有鉴于此，本申请所要解决的技术问题是提供了一种两阶段式电泳工艺，能够即能保证电泳玻璃的厚度，又能很好的改善电泳玻璃的品质，降低电泳成本。为了解决上述技术问题，本申请公开了一种两阶段式电泳工艺，并采用以下技术方案来实现：一种两阶段式电泳工艺，步骤包括：s1、采用第一阶段电泳液对硅片进行电泳；s2、向使用过的所述第一阶段电泳液中添加玻璃粉和添加液，制成第二阶段电泳液；s3、将经过所述s1后的硅片放置在所述第二阶段电泳液中进行电泳。进一步的，所述第一阶段电泳液为低浓度溶液，所述低浓度溶液为每8l～9l溶剂中添加60g～120g玻璃粉和2ml～7ml添加液。进一步的，所述第二阶段电泳液具体为：每8l～9l溶剂中添加30g～50g所述玻璃粉和1ml～5ml所述添加液。进一步的，所述添加液为带电荷的溶液。进一步的，所述添加液为带电荷的酸性溶液。优选的，每8l～9l所述第一阶段电泳液用于电泳的时间为30min。与现有技术光刻工艺相比，本申请可以获得包括以下技术效果：相较于原有在高浓度玻璃粉电泳液中进行一次电泳的工艺，本申请两阶段式电泳工艺电泳过程更稳定，槽内玻璃的造型更均匀、更对称，增强产品电性能的稳定，降低产品不良率；相较于在直接降低玻璃粉浓度的电泳液中进行两次电泳，本申请电泳液的二次利用，达到了提高玻璃粉的利用率的目的，降低电泳成本。当然，实施本申请的任一产品必不一定需要同时达到以上所述的所有技术效果。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1是本申请未采用两阶段式电泳工艺电泳后槽内玻璃平面图。图2是本申请采用两阶段式电泳工艺电泳后槽内玻璃平面图。图3是本申请未采用两阶段式电泳工艺电泳后槽内玻璃截面图。图4是本申请采用两阶段式电泳工艺电泳后槽内玻璃截面图。图5是本申请采用两阶段式电泳工艺后槽内玻璃沿高度曲线图。具体实施方式以下将配合附图及实施例来详细说明本申请的实施方式，藉此对本申请如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。一种两阶段式电泳工艺，步骤包括：s1、采用低玻璃粉浓度的电泳液对硅片进行电泳；s2、往s1中使用后的电泳液中添加玻璃粉和添加液；s3、将经s1电泳后的硅片放置在s2所得到的电泳液中进行电泳。步骤s1中，即第一阶段，低玻璃粉浓度的电泳液，具体指，每8l～9l溶剂里加入60g～120g玻璃粉和2ml～7ml添加液。本实施例选用的溶剂为丙酮。试验数据和结果如表1所示，做了六组实验，分别选取了六个60g～120g之间的玻璃粉值和六个2ml～7ml之间的添加液的值，对同样的硅片在同样的环境中进行第一阶段电泳，观察电泳后硅片增重适中，槽内玻璃的平面和截面均正常。步骤s2中，即第二阶段，玻璃粉和添加液的具体添加量为每8l～9l溶剂中添加30g～50g玻璃粉和1ml～5ml添加液。试验数据和结果如表2所示。做了四组实验，分别选取了四个30g～50g之间的玻璃粉值和四个1ml～5ml之间的添加液的值，对同样的硅片在同样的环境中进行第二阶段电泳，观察电泳后硅片增重适中，槽内玻璃的平面和截面均正常。步骤s1和/或s3中8l～9l溶液量的电泳时间为30min。添加液主要成分是一种酸，主要作用是在电泳时提供电荷，携带玻璃粉沿着电场方向沉积在产品沟槽内。两阶段电泳进行完后的槽内玻璃的平面图如图2所示，截面图如图4所示，玻璃沿、槽内造型对称。表1第一阶段电泳试验数据和结果序号增重(mg)单片电泳时间(s)电泳后效果玻璃沿槽内造型180458okokok283172okokok3831100okokok4824177okokok表2第二阶段电泳试验数据和结果经过电泳液的再利用，即两阶段式电泳工艺，玻璃粉利用率提高了1.1％(即由未采用两阶段式电泳工艺的73.75％提高至74.85％)，单片产品玻璃粉损耗降低了0.18g/片(即由未采用两阶段式电泳工艺的的1.35g/片降至1.170g/片)。具体计算方式是通过两次以上试验，每次选几十片硅片在一定量的电泳液中进行电泳，计算出每次试验总的玻璃粉投入量a，和批量硅片增重量b，b占a的百分比即为本次试验的玻璃粉利用率，多次试验总的增重量占总投入量的百分比为最终的玻璃粉利用率，计算结果为74.85％。总增重量除以总片数，得到单片损耗量，计算结果为1.170g/片。采用两阶段式电泳工艺后，对不同型号和尺寸的试验硅片的槽内玻璃沿高度进行测量，根据测量结果绘制玻璃沿高度的最大值曲线、最小值曲线和平均值曲线，如图5所示。最大值偶有超过20um的情况，平均值则均控制在20um以内，满足gpp生产的要求。同时观察槽内玻璃厚度和拐角厚度，也符合gpp生产的要求。本发明的有益效果是：相较于原有在高浓度玻璃粉电泳液中进行一次电泳的工艺，本申请两阶段式电泳工艺电泳过程更稳定，槽内玻璃的造型更均匀、更对称，增强产品电性能的稳定，降低产品不良率；相较于在直接降低玻璃粉浓度的电泳液中进行两次电泳，本申请电泳液的二次利用，达到了提高玻璃粉的利用率的目的，降低电泳成本。以上对本申请实施例所提供的一种两阶段式电泳工艺，进行了详细介绍。以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的结构及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。如在说明书及权利要求当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可理解，不同的厂商可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要求书并不以名称的差异来作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区分的准则。在通篇说明书及权利要求当中所提及的“包含”为一开放式用语，故应解释成“包含但不限定于”。“大致”是指在可接收的误差范围内，本领域技术人员能够在一定误差范围内解决所述技术问题，基本达到所述技术效果。说明书后续描述为实施本申请的较佳实施方式，然所述描述仍以说明本申请的一般原则为目的，并非用以限定本申请的范围。本申请的保护范围当视所附权利要求所界定者为准。还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的商品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种商品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的商品或者系统中还存在另外的相同要素。上述说明示出并描述了本申请的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本申请并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述本申请构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本申请的精神和范围，则都应在本申请所附权利要求的保护范围内。当前第1页12