技术特征：
技术总结
本发明公开了一种用于连通激光器和真空环境的管道，包括不锈钢管道和第二无氧铜管，不锈钢管道和第二无氧铜管之间连接有第一无氧铜管、三通接头、陶瓷管路和直通接头，三通接头的侧端接头上连接有吸气剂供给装置；还公开了其制造方法及其应用；本发明的管道完成连接后，可以在‑40~135℃范围内任何温度漏率均优于5.0×10‑13Pa·m3/s，且该管道可以满足长时间烘烤除气的工艺需求；该管道可使用冷封钳将无氧铜管冷封，冷封过程中激光器内的气体不会与外界环境发生交换，确保激光器内工作气体的纯度不会发生变化；冷封后的激光器与吸气剂供给装置组成的器件可进行其它工艺，然后进行第二次冷封，去除吸气剂供给装置后，得到高精度激光器产品。
技术研发人员：鲍浪;张红波;谭锐
受保护的技术使用者：华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）
技术研发日：2017.12.27
技术公布日：2018.05.29