搬运设备的制作方法

本实用新型是与搬运设备有关，特别是指一种多搬运系统的搬运设备。

背景技术：

目前无论是面板、晶圆或各种半导体都可分成多个制程埠，各制程埠分别对被加工物(玻璃及晶圆等)进行对应的加工，但在各制程埠之间往往需藉由搬运手臂将被加工物搬运至装载埠，以将被加工物置入装载埠的匣盒内，然后再由搬运设备将匣盒搬运至下一制程埠来进行下一次加工。

这种搬运方式通常需要两套不同功能的搬运设备，一种是搬运被加工物，另一种是搬运匣盒，因此两套不同功能的搬运设备需要较大的装设空间。

技术实现要素：

有鉴于上述缺失，本实用新型的目的在于提供一种具有多搬运系统的搬运设备，以减少设备数量及缩小运作所需的空间与面积。

为达成上述目的，本实用新型的搬运设备包括一搬运装置、一转向装置即一水平移动装置。转向装置连接搬运装置及水平移动装置。搬运装置包括一框架、一升降系统、一第一搬运系统及一第二搬运系统。升降系统连接框架，且具有一升降台。升降台有两相对面。第一搬运系统及第二搬运系统连接该升降台，且分别位在两相对面。第一搬运系统有两搬运手臂。

上述的搬运设备的一实施例中，该升降台的两相对面分别是一顶面及一底面，该第一搬运系统位在该顶面，该第二搬运系统位在该底面。

上述的搬运设备的一实施例中，该两搬运手臂的承载面是上下间隔排列，且保持一间隔。

上述的搬运设备的一实施例中，该升降系统还包括至少一传动装置，该升降台连接该传动装置。

上述的搬运设备的一实施例中，该转向装置包括一马达。如此，本实用新型的搬运设备可藉由第一搬运系统来搬运匣盒，及藉由第二搬运系统来搬运匣盒内的被加工物，以减少搬运设备装机及运作所需的空间。再者，第二搬运系统有两搬运手臂，因此，可提高被加工物的转换效率。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1是本实用新型的搬运设备的实施例的示意图。

图2是图1中搬运设备水平旋转的示意图。

图3是本实用新型的搬运设备的局部剖视的示意图。

图4是本实用新型的搬运设备的搬运装置的第一搬运系统伸出升降台，且承载匣盒的示意图。

图5是本实用新型的搬运设备的搬运装置的第二搬运系统的其中一搬运手臂伸出升降台的示意图。

图6是本实用新型的搬运设备、装载埠及制程埠配置及运作的示意图。

其中，附图标记

10搬运设备 11搬运装置

111框架 113升降系统

1131升降台 1131a顶面

1131b底面 1133传动装置

115第一搬运系统 1151第一搬运手臂

117第二搬运系统 1171、1173第二搬运手臂

13转向装置 131马达

15水平移动装置 30路径

50装载埠 51匣盒

70制程埠 71基板

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型技术方案进行详细的描述，以更进一步了解本实用新型的目的、方案及功效，但并非作为本实用新型所附权利要求保护范围的限制。

如图1及图2所示，本实用新型的搬运设备10包括一搬运装置11、一转向装置13及一水平移动装置15。转向装置13连接搬运装置10及水平移动装置15。其中，搬运装置11藉由转向装置13水平旋转，水平移动装置15可沿一路径30水平移动，本实施例中，路径30是轨道，但实际上，路径30不以轨道为限。水平移动装置15的动力已为业界周知，于此不赘述。

如图3所示，搬运装置11包括一框架111、一升降系统113、一第一搬运系统115及一第二搬运系统117。升降系统113连接框架111，且有一升降台1131，升降台1131在框架111内向上及向下移动。第一搬运系统115连接升降台1131，且位在升降台1131的一顶面1131a。第二搬运系统117连接升降台1131，且位在升降台1131的一底面1131b。

虽然本实施例中，第一搬运系统115及第二搬运系统117分别位在顶面1131a及底面1131b，但实际上，第一搬运系统115也可以配置在底面1131a，第二搬运系统117也可以配置在顶面1131b，因此，第一搬运系统115及第二搬运系统117的配置是限制在升降台1131的两相对面，而不以本实施例所述为限。

第二搬运系统117具有两第二搬运手臂1171、1173，两第二搬运手臂1171、1173的承载面是上下间隔排列，且保持一间隔，承载面用以承载基板。如此，第二搬运手臂1173承载基板，且可避免基板擦撞第二搬运手臂1171。换言之，两第二搬运手臂1171、1173可加速基板的搬运，来提高基板转换效率。此外，第二搬运系统117也可以有更多搬运手臂，例如三个或三个以上，这也仍是本实用新型的保护范围。

升降系统113还包括两传动装置1133，升降台1131连接两传动装置1133，且随两传动装置1133运转而上升及下降。传动装置1133用以提供线性移动，传动装置的组成例如滚珠螺杆、齿轮、齿条及电动缸等，这些组成及其他替代的组成方案都是本实用新型所述的传动装置，本实用新型主要提供线性移动是藉由滚珠螺杆。本实施例中选用两传动装置1133，但实际上，也可以只采用一传动装置1133，因此，传动装置1133的数量不以本实施例所述为限。

请续参照图3，前述转向装置13包括一马达131，马达131带动搬运装置11水平旋转。

如图4及图5所示，第一搬运系统115具有一第一搬运手臂1151，第一搬运手臂1151可伸出升降台1131外及退回升降台1131内。两第二搬运手臂1171、1173分别可伸出升降台1131外及退回升降台1131内。

其中，升降台1131内是升降台1131边缘所形成的范围。

如图6所示，本实用新型的搬运设备10通常设置在装载埠50及制程埠70之间，以搬运匣盒(cassette)51及转运基板71。其中，匣盒51是位在装载埠50，且通常有多个，每一匣盒51有多个存放基板71的位置，匣盒51的结构已为业界所周知，于此不作赘述。基板71则在制程埠70进行各种制程加工，例如曝光、测试及蚀刻等。基板71在制程埠70进行的制程是随着不同产品而提供对应的制程，且各基板71对应的制程已为业界所周知，且未来不同新颖制程仍适用本实用新型的搬运设备，因此，不再赘述各制程。

搬运设备的第二搬运系统117可分别从装载埠50的匣盒51内取出基板71，并搬运至制程埠70以进行相关制程加工。相同地，第二搬运系统117也可从制程埠70搬运已加工完成的基板71，并转送至装载埠50的匣盒51，而将加工完成的基板71放入匣盒51。

最后，搬运设备10可藉由第一搬运系统115从装载埠50搬运匣盒51，并藉由水平移动装置沿着路径30移动至转运埠90以供下一道制程的搬运设备10搬运匣盒51，或者直接搬运置下一道制程的装载埠50。

其中，本实用新型的搬运设备的转向装置可适时地让搬运装置旋转，以便进行下一次转运匣盒及基板的作业。

如此，本实用新型的搬运设备不仅可减少设备数量，还可减少搬运设备装设所需的空间。虽然本实施例中，搬运设备以搬运匣盒及基板为例，但实务中，搬运设备也可以搬运其他物品，因此，搬运的项目不以本实施例所述为限。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。