硅片清洁装置的制作方法

文档序号:12843710阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片清洁装置,其特征在于:包括转盘(1)、传送机构、限位机构、顶板机构以及清洁机构,所述转盘(1)上沿周向设有上料工位(11)、印刷工位(12)、下料工位(13)和清洁工位(14),且每个工位上设有一个工作台(3),四个所述工作台(3)沿所述转盘(1)周向均匀分布,所述工作台(3)边长与所述硅片(2)边长相同,所述工作台(3)上设有多个吸气孔(3-1);

所述限位机构包括矩形限位框(4),所述限位框(4)设于所述上料工位(11)的工作台(3)上方,所述限位框(4)下端面由内框向外框方向逐渐向下倾斜,所述限位框(4)内框边长小于所述工作台(3)边长,所述限位框(4)外框边长大于所述工作台(3)边长,所述限位框(4)与所述上料工位(11)的工作台(3)同轴,所述限位框(4)上端设有用于控制所述限位框(4)靠近或远离所述上料工位(11)的工作台(3)的第一驱动装置;

所述顶板机构包括依次连接的弯管接头(5)和支撑块(6),所述弯管接头(5)为具有四分之一圆的弧形管状结构,所述工作台(3)底部设有所述弯管接头(5),所述弯管接头(5)一端与所述工作台(3)底端固定连接,所述弯管接头(5)另一端与所述支撑块(6)固定连接,所述支撑块(6)为外径与所述弯管接头(5)外径相同的四分之一圆形结构,所述支撑块(6)圆心与所述转盘(1)底端铰接,所述支撑块(6)上设有用于驱动所述支撑块(6)围绕圆心转动的第二驱动装置;

所述清洁机构包括风刀(10)、毛刷(9)以及用于固定风刀(10)和毛刷(9)的支架(8),所述支架(8)竖直设于所述上料工位(11)的工作台(3)上方且位于靠近所述转盘(1)轴心的一侧,所述支架(8)上设有驱动所述支架(8)沿竖直方向上下移动的第三驱动装置。

2.如权利要求1所述的硅片清洁装置,其特征在于:所述传送机构包括用于将硅片(2)移至所述上料工位(11)的工作台(3)上的吸盘。

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