铂扩散用石英舟的制作方法

本实用新型涉及的是半导体电子元器件制造技术领域，尤其是涉及对快恢复产品一种铂扩石英舟。

背景技术：

半导体晶片的生产工艺需要在GPP生产前进行铂扩处理，对配置好的硼源需要进行搅拌、涂匀、装舟、进炉、出炉、冷却供生产线使用，因其容易出现恢复时间不均匀现象，其舟体的装舟数量与回复时间的均匀性成为生产能否量产的影响因素，铂扩散处理需要使用石英舟对晶片进行装载，现有的石英舟缺点如下：现有的石英舟为排列式其晶片间松紧度不易控制，影响气体流进晶片均匀性；舟体两端占用空间较大，影响生产效率。

技术实现要素：

本实用新型目的在于提供一种铂扩散用石英舟，能够满足改善气体流量的均匀性，保证恢复时间均匀，同时还能增加晶片数量提高生产效率，本实用新型结构简单，占用空间小，生产时晶片装载方便，生产效果满足工艺要求。

本实用新型所述的铂扩散用石英舟，包括石英舟板和石英棒，石英棒数量为8个，每个石英棒通过插入石英舟板表面设置的定位孔与石英舟板可拆卸连接，其中定位孔与石英棒底部间隙配合，石英舟板在炉内高温因热涨使定位孔孔径变小、石英棒底部增大，形成过盈配合，有效杜绝石英棒与石英舟板固定不牢损坏晶片，同时当出炉冷却后石英棒与石英舟板之间为间隙配合，便于拆卸取料提高生产效率；石英舟板表面还设有推拉杆孔，推拉杆孔孔径比推拉杆直径大5mm，目的在于不占用过多炉内空间，操作方便；

其中：

8个定位孔在石英舟板宽度方向按4列排布，每列2个定位孔，相邻两列的4个定位孔之间形成晶片放置区，晶片放置区用于晶片的堆叠放置，石英棒用于堆叠晶片的横向定位支撑，使晶片不震荡。

晶片放置区形堆叠有若干层晶片，最上层晶片上部和最下层晶片下部均设有石英挡片，下部石英挡片的作用在于防止晶片与石英舟舟体直接接触粘连，易于取片，上部石英挡片的作用是对堆叠晶体层提供向下压力，防止晶片震荡。

推拉杆孔到石英舟板边沿的距离为14mm，目的在于减少炉内占用空间，同时石英舟板在炉内高温满载时，在推拉杆较大推拉力下不损坏舟体。

推拉杆为机械推拉杆。

石英棒的高度为1.5cm，目的在于可使晶片堆叠高度达到最佳高度，直径为为12mm，目的在于能够满足石英棒在高温下不变形。

石英舟板的厚度为不小于15-25mm，目的在于满足在高温满载情况下舟体不变形，长度满足恒温区长度的1/2减5cm推拉误差，其目的在于满足一炉两舟，同时防止人为操作使晶片超出恒温区。

石英舟板尖角倒钝，目的在于防止石英舟板划伤炉管降低炉管使用寿命。

中间两列的两个定位孔之间的距离小于两边两列的两个定位孔之间的距离，目的在于增强固定作用，使晶片不震荡。

本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果。

(1)本实用新型结构简单、体积轻便，采用石英棒插棒式可拆卸设计，有利于提高装片及卸片效率，同时晶片采用堆叠式装舟，在石英舟板上装入晶片后插入石英棒，插入石英棒后进入前后无挡板遮挡，能改善气体流量的均匀性，为生产线提供均匀的恢复时间，增加生产效率，满足了生产需求，提高了产量，利用本装置进行铂扩生产其效果完全满足工艺要求；

(2)本实用新型均为石英材质，能有效防止其他材质的污染。

附图说明

图1、本实用新型一实施例结构示意图；

图2、图1中石英舟板与石英棒可拆卸连接示意图；

图3、图2中石英舟板俯视图；

图4、图1中晶片装载后示意图。

图中：1、推拉杆孔2、定位孔3、石英舟板4、石英棒5、晶片6、石英挡片。

具体实施方式

下面结合实施例和说明书附图对本实用新型做进一步说明。

如图1-4所示，本实用新型所述的铂扩散用石英舟，包括石英舟板3和石英棒4，石英棒4数量为8个，每个石英棒4通过插入石英舟板3表面设置的定位孔2与石英舟板3可拆卸连接，其中定位孔2与石英棒4底部间隙配合，石英舟板3表面还设有推拉杆孔1，推拉杆孔1孔径比推拉杆直径大5mm；

其中：

8个定位孔2在石英舟板3宽度方向按4列排布，每列2个定位孔2，相邻两列的4个定位孔2之间形成晶片放置区，晶片放置区用于晶片5的堆叠放置。

晶片放置区形堆叠有若干层晶片5，最上层晶片5上部和最下层晶片5下部均设有石英挡片6。

推拉杆孔1到石英舟板3边沿的距离为14mm。

推拉杆为机械推拉杆。

石英棒4的高度为1.5cm，直径为12mm。

石英舟板3的厚度为15mm，长度为恒温区长度的1/2。

石英舟板3尖角倒钝。

中间两列的两个定位孔2之间的距离小于两边两列的两个定位孔2之间的距离。

本实用新型使用方法为：如图2-4所示，石英舟板3上有三个晶片放置区，首先在三个晶片放置区分别放一块石英挡片6，在每个石英挡片6上从下到上依次堆叠若干层涂匀铂源的晶片5，在晶片5层顶端放置大于3片的石英挡片6使整体高度小于或等于石英棒4的高度，装完晶片5后插入石英棒4，石英棒4用于对晶片5层的定位支撑，防止晶片5层发生横向位移，托住石英舟板3准备进炉，将石英舟板3放入炉口，石英推拉杆插入推拉杆孔1按照一定速率推至恒温区，出炉时间将石英推拉杆插入推拉杆孔1按照一定速率拉出炉口，用托盘送至冷却区，冷却完成拆掉石英棒4取下石英挡片6取出晶片5。