1.一种薄膜天线,其特征在于,包括:
一绝缘衬底层;
位于绝缘衬底层中的金属互连线,用于对纳米天线层的信号进行传输;
位于绝缘衬底层表面的纳米天线层;其中,纳米天线层底部通过金属接触线与金属互连线连接;
位于纳米天线层之间的介质;
位于纳米天线层上的覆盖层。
2.根据权利要求1所述的薄膜天线,其特征在于,所述纳米天线层中的纳米天线具有一个恒定图案天线和多个以这个恒定图案天线放大或缩小的变换图案天线。
3.根据权利要求2所述的薄膜天线,其特征在于,以所述恒定图案天线为基准,将所述恒定图案天线按递增或递减顺序放大为多个变换图案天线,将多个变换图案天线按照尺寸从小到大顺序且将顶端对齐到同一直线上排列。
4.根据权利要求3所述的薄膜天线,其特征在于,相邻的变换图案天线的顶端在同一直线上、且相邻的变换图案天线中的一个变换图案天线与另一个变换图案天线呈180°相对设置。
5.根据权利要求2所述的薄膜天线,其特征在于,所述恒定图案天线呈弧形轨迹排布。
6.根据权利要求5所述的薄膜天线,其特征在于,所述恒定图案天线为波浪线且以弧形为轨迹排列。
7.根据权利要求5所述的薄膜天线,其特征在于,所述弧形为半圆形。
8.根据权利要求5所述的薄膜天线,其特征在于,每根所述纳米天线的一端底部与所述金属接触线顶部相连接。
9.根据权利要求1所述的薄膜天线,其特征在于,所述金属接触线由金属接触孔结构构成;金属接触孔结构形成于绝缘衬底层中,其一端与纳米天线层底部连接,另一端穿过绝缘衬底层与金属互连线连接。
10.根据权利要求1所述的薄膜天线,其特征在于,所述金属互连线的线宽和所述金属接触线的直径相同。
11.根据权利要求1所述的薄膜天线,其特征在于,所述金属互连线的材料为铜,所述金属接触线的材料为铜。
12.根据权利要求1所述的薄膜天线,其特征在于,在所述纳米天线层底部设置有封闭空腔,且封闭空腔位于所述金属互连线与所述纳米天线层之间的绝缘衬底层中。
13.根据权利要求12所述的薄膜天线,其特征在于,在封闭空腔顶部且在纳米天线层底部设置有至少一条介质梁,用于支撑纳米天线层。
14.根据权利要求13所述的薄膜天线,其特征在于,所述纳米天线的一端底部与金属接触线接触的位置均设置于纳米天线层的一侧,至少一条介质梁设置于所述纳米天线层的另一侧底部。
15.根据权利要求12所述的薄膜天线,其特征在于,所述封闭空腔呈扁平结构。
16.根据权利要求12所述的薄膜天线,其特征在于,每根所述金属接触线的一端与相应的天线的端相连接,另一端穿过所述封闭空腔至绝缘衬底层中,且另一端与金属互连线相连接。
17.根据权利要求1所述的薄膜天线,其特征在于,所述纳米天线层的材料为单层石墨烯薄膜。
18.根据权利要求1所述的薄膜天线,其特征在于,所述绝缘衬底层的材料为有机屏蔽材料。
19.根据权利要求1所述的薄膜天线,其特征在于,所述覆盖层的材料为氧化石墨烯薄膜。
20.根据权利要求1所述的薄膜天线,其特征在于,所述介质的材料为空气或低损耗高频介质。