技术总结
本实用新型提供了一种十字棱台图形化衬底，包括由下往上依次层叠的衬底底部和十字棱台图案，所述十字棱台图案的直径为500‑950nm，高度为150‑500nm。制备的十字棱台图形化蓝宝石衬底，能够促进薄膜的横向生长，有利于后续生长高质量低缺陷的薄膜，可大幅度提高LED的发光效率；制备的十字棱台图形化衬底能够增加光的反射从而提高LED、LD器件的出光效率。
技术研发人员：杨为家;刘俊杰;唐秀凤;刘铭全;赵志诚;刘均炎;何鑫
受保护的技术使用者：五邑大学
技术研发日：2017.10.18
技术公布日：2018.07.27