本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机。
背景技术：
在真空环境中，将材料加热并镀到工件或基片上称为真空蒸镀，或真空镀膜。蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。
蒸镀是通过蒸镀机进行的，而现有蒸镀机装配的电子枪发射基座在使用过程中存在以下缺陷：电子枪发射基座上安装灯丝的灯丝卡槽设置于基座主体的电极阳极上，在实际使用中，由于灯丝卡槽与灯丝为接触面，形成接触电阻，在工作中因电阻热效应产生局部高温，形成氧化层，损坏甚至报废整个基座主体，导致电路异常，以致需要更换新的基座主体，使得每个基座主体的平均使用寿命约为30天；这不仅增加了生产成本，而且还降低了生产效率。
鉴于此，有必要设计一种新的电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机用以解决上述技术问题。
技术实现要素：
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机，解决了现有电子枪发射基座因灯丝卡槽设计于基座主体上，在使用过程中容易造成基座主体损坏，使得生产成本增加及生产效率降低的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种电子枪发射基座，所述电子枪发射基座包括：
第一电极阴极；
第二电极阴极；
安装于所述第一电极阴极和所述第二电极阴极之间的中间绝缘片；
与所述第一电极阴极连接、且外侧设有第一凹槽的第一电极阳极；
与所述第二电极阴极连接、且外侧设有第二凹槽的第二电极阳极，其中，所述第一电极阳极内侧与所述第二电极阳极内侧之间设有第一间距；
安装于所述第一凹槽内的第一压片，其中，所述第一压片上设有一贯穿所述第一压片上表面及下表面的第一灯丝卡槽；
安装于所述第二凹槽内的第二压片，其中，所述第二压片上设有一贯穿所述第二压片上表面及下表面的第二灯丝卡槽；
安装于所述第一电极阳极下表面的第一发射板；
安装于所述第二电极阳极下表面的第二发射板；
安装于所述第一电极阳极及所述第二电极阳极上表面的阳极罩座；以及
安装于所述阳极罩座上的阳极罩。
优选地，所述中间绝缘片通过第一固定件安装于所述第一电极阴极和所述第二电极阴极之间；所述第一压片通过第二固定件安装于所述第一凹槽内，所述第二压片通过第三固定件安装于所述第二凹槽内；所述第一发射板通过第四固定件安装于所述第一电极阳极下表面，所述第二发射板通过第五固定件安装于所述第二电极阳极下表面；所述阳极罩座通过第六固定件安装于所述第一电极阳极和所述第二电极阳极的上表面。
优选地，所述阳极罩座的外表面设有外螺纹，所述阳极罩的内表面设有与所述外螺纹适配的内螺纹。
优选地，所述第一间距为1.25±0.25mm。
优选地，所述阳极罩的外直径为36±0.25mm。
优选地，所述阳极罩的内直径为14±0.25mm。
优选地，所述电子枪发射基座的材料为不锈钢。
本实用新型还提供了一种电子枪发射系统，所述电子枪发射系统包括：
如上述任一项所述的电子枪发射基座；
固定于所述第一灯丝卡槽和所述第二灯丝卡槽上的灯丝。
本实用新型还提供了一种蒸镀机，所述蒸镀机包括如上述所述的电子枪发射系统。
如上所述，本实用新型的一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机，具有以下有益效果：
1.本实用新型通过将灯丝卡槽设计于可分离的外部第一、第二压片上，而非包括第一、第二电极阴极和第一、第二电极阳极的基座主体上，在后续灯丝卡槽损坏需要更换时，只需要更换外部第一、第二压片即可，而无需更换基座主体，使基座主体的平均使用寿命由30天增加至90天，不仅减小了生产成本，而且还提高了生产效率。
2.本实用新型通过减小阳极罩外径，同时增加第一间距，使所述电子枪发射基座的安装维修工作简化，安装成功率高，设备保养时间减少20分钟，整体保养时间优化20％。
3.本实用新型通过增加阳极罩内径(即电子束发射孔直径)，使得所述电子枪发射基座对灯丝的尺寸要求降低，且可以容忍一定程度的灯丝变形，增加了工作稳定性，同时将电子枪发射基座的异常报警频率由6次/月降至1次/月。
附图说明
图1显示为本实用新型所述电子枪发射基座的各部件结构分解图。
元件标号说明
1 电子枪发射基座
11a 第一电极阴极
11b 第二电极阴极
12 中间绝缘片
13a 第一凹槽
13b 第二凹槽
14a 第一电极阳极
14b 第二电极阳极
15a 第一压片
15b 第二压片
16a 第一灯丝卡槽
16b 第二灯丝卡槽
17a 第一发射板
17b 第二发射板
18 阳极罩座
19 阳极罩
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图1。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
实施例一
如图1所示，本实用新型提供一种电子枪发射基座，所述电子枪发射基座1包括：
第一电极阴极11a；
第二电极阴极11b；
安装于所述第一电极阴极11a和所述第二电极阴极11b之间的中间绝缘片12；
与所述第一电极阴极11a连接、且外侧设有第一凹槽13a的第一电极阳极14a；
与所述第二电极阴极11b连接、且外侧设有第二凹槽13b的第二电极阳极14b，其中，所述第一电极阳极14a内侧与所述第二电极阳极14b内侧之间设有第一间距；
安装于所述第一凹槽13a内的第一压片15a，其中，所述第一压片15a上设有一贯穿所述第一压片15a上表面及下表面的第一灯丝卡槽16a；
安装于所述第二凹槽13b内的第二压15b片，其中，所述第二压片15b上设有一贯穿所述第二压片15b上表面及下表面的第二灯丝卡槽16b；
安装于所述第一电极阳极14a下表面的第一发射板17a；
安装于所述第二电极阳极14b下表面的第二发射板17b；
安装于所述第一电极阳极14a及所述第二电极阳极14b上表面的阳极罩座18；以及
安装于所述阳极罩座18上的阳极罩19。
作为示例，所述中间绝缘片12通过第一固定件安装于所述第一电极阴极11a和所述第二电极阴极11b之间。
作为示例，所述第一压片15a通过第二固定件安装于所述第一凹槽13a内，所述第二压片15b通过第三固定件安装于所述第二凹槽13b内。
作为示例，所述第一发射板17a通过第四固定件安装于所述第一电极阳极14a下表面，所述第二发射板17b通过第五固定件安装于所述第二电极阳极14b下表面。
作为示例，所述阳极罩座18通过第六固定件安装于所述第一电极阳极14a和所述第二电极阳极14b的上表面。
优选地，所述第一固定件、第二固定件、第三固定件、第四固定件、第五固定件及第六固定件均为螺丝。
作为示例，如图1所示，所述阳极罩座18的外表面设有外螺纹，所述阳极罩19的内表面设有与所述外螺纹适配的内螺纹，以使所述阳极罩19通过内螺纹及外螺纹安装于所述阳极罩座18上。
作为示例，所述第一间距为1.25±0.25mm。
优选地，在本实施例中，所述第一间距为1.25mm；当然，在其它实施例中，所述第一间距还可以为1.00mm、1.10mm、1.30mm、1.40mm或1.50mm等。
作为示例，所述阳极罩的外直径D1为36±0.25mm。
优选地，在本实施例中，所述阳极罩的外直径为16mm；当然，在其它实施例中，所述阳极罩的外直径还可以为35.75mm、35.80mm、35.90mm、36.10mm、36.20mm或36.25mm等。
作为示例，所述阳极罩的内直径D2为14±0.25mm。
优选地，在本实施例中，所述阳极罩的内直径为14mm；当然，在其它实施例中，所述阳极罩的内直径还可以为13.75mm、13.80mm、13.90mm、14.10mm、14.20mm或14.25mm等。
作为示例，所述电子枪发射基座的材料为不锈钢。
优选地，在本实施例中，所述电子枪发射基座的材料为304不锈钢，以提供更好地散热能力，提高所述电子枪发射基座的整体寿命。
实施例二
本实用新型提供了一种电子枪发射系统，所述电子枪发射系统包括：
如上述实施例一所述的电子枪发射基座；及
固定于所述第一灯丝卡槽和所述第二灯丝卡槽上的灯丝。
实施例三
本实用新型提供了一种蒸镀机，所述蒸镀机包括实施例二所述的电子枪发射系统。
综上所述，本实用新型的一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机，具有以下有益效果：
1.本实用新型通过将灯丝卡槽设计于可分离的外部第一、第二压片上，而非包括第一、第二电极阴极和第一、第二电极阳极的基座主体上，在后续灯丝卡槽损坏需要更换时，只需要更换外部第一、第二压片即可，而无需更换基座主体，使基座主体的平均使用寿命由30天增加至90天，不仅减小了生产成本，而且还提高了生产效率。
2.本实用新型通过减小阳极罩外径，同时增加第一间距，使所述电子枪发射基座的安装维修工作简化，安装成功率高，设备保养时间减少20分钟，整体保养时间优化20％。
3.本实用新型通过增加阳极罩内径(即电子束发射孔直径)，使得所述电子枪发射基座对灯丝的尺寸要求降低，且可以容忍一定程度的灯丝变形，增加了工作稳定性，同时将电子枪发射基座的异常报警频率由6次/月降至1次/月。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。