一种硅片刻蚀传动结构的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种硅片刻蚀传动结构。

背景技术：

在太阳能生产制造技术中，对硅片进行刻蚀时，需要通过动力传输机构对硅片进行传输，传输方式一般通过多个滚轮进行传输，硅片依靠滚轮支撑，保证硅片漂浮于液面上，通过多个滚轮的支撑作用以及液体的毛细现象，使硅片边缘和下部与液体接触，从而实现对PN结的刻蚀。采用现有技术对硅片的PN结进行刻蚀的过程中，滚轮如果出现不平衡的情况的话，会导致过刻的现象，此外，滚轮的安装和调整过程也极为繁琐，很难保证滚轮的平衡。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种硅片刻蚀传动结构，能够解决上述技术问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种硅片刻蚀传动结构，包括：

支架；

传送带，其设置于所述支架上方，所述传送带的两侧均设置有锯齿；

转轴，其转动连接于所述支架并位于所述支架的两端，所述传送带包裹于所述转轴的外部；

辅助啮合部，分别设置于所述转轴的两端，所述辅助啮合部能够与所述锯齿啮合；及

驱动部件，用于驱动所述转轴转动。

进一步的，所述辅助啮合部固设于所述转轴的两端并位于所述传送带的两侧。

进一步的，所述辅助啮合部为端面齿轮。

进一步的，所述传送带为网状结构，所述传送带包括若干网格。

进一步的，所述网格为菱形结构，所述网格的长度为0.2-0.5cm，所述网格的宽度为0.1-0.3cm。

进一步的，所述转轴上设置有不少于一个的滚轮，所述滚轮周向设置有齿牙，所述齿牙与所述网格相适配，并能够插入所述网格内。

进一步的，所述齿牙未超出所述传送带的上表面。

进一步的，所述支架包括第一支架、第二支架及多个支撑杆，所述支撑杆设置于所述第一支架和所述第二支架之间，且所述支撑杆的两端分别连接于所述第一支架和所述第二支架；

所述传送带位于所述支撑杆的上方；

所述转轴分别转动连接于所述第一支架和所述第二支架。

进一步的，所述支撑杆包括竖向支撑杆和横向支撑杆，所述横向支撑杆垂直连接于所述竖向支撑杆，且所述横向支撑杆的两端连接于所述第一支架和所述第二支架。

进一步的，所述转轴的直径为5-8cm。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过将辅助啮合部与传送带的两侧的锯齿配合，以驱动传送带移动，使传送带携带位于其上的硅片随其一同移动，从而实现了对硅片的传输；通过在传送带的两侧设置辅助啮合部，能够保证传送带能够稳定地传送硅片，避免了由于传送带运行不平稳而导致硅片过刻的情况，从而提高了硅片在刻蚀时的效率。此外，本实用新型提供的硅片刻蚀传动结构安装及调整方便，解决了现有技术中由于需要安装若干细滚轮而导致安装和调整过程极为繁琐的技术问题。

附图说明

图1是本实用新型提供的硅片刻蚀传动结构的结构示意图；

图2是本实用新型提供的传送带的结构示意图。

图中：

1、支架；11、第一支架；12、第二支架；13、支撑杆；131、竖向支撑杆；132、横向支撑杆；

2、传送带；21、锯齿；22、网格；

3、转轴；

4、辅助啮合部。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实施例提供了一种硅片刻蚀传动结构，如图1-图2所示，该硅片刻蚀传动结构设置于刻蚀槽内，包括支架1；传送带2，其设置于所述支架1上方，所述传送带2的两侧均设置有锯齿21；转轴3，其转动连接于所述支架1并位于所述支架1的两端，所述传送带2包裹于所述转轴3的外部；辅助啮合部4，分别设置于所述转轴3的两端，所述辅助啮合部4能够与所述锯齿21啮合；及驱动部件，驱动部件用于驱动所述转轴3转动。其中，驱动部件为电机。

辅助啮合部4位于所述传送带2的两侧，本实施例通过将辅助啮合部4与传送带2的两侧的锯齿21配合，以驱动传送带2移动，使传送带2携带位于其上的硅片随其一同移动，从而实现了对硅片的传输；通过在传送带2的两侧设置辅助啮合部4，能够保证传送带2能够稳定地传送硅片，避免了由于传送带2运行不平稳而导致硅片过刻的情况，从而提高了硅片在刻蚀时的效率。此外，本实施例提供的硅片刻蚀传动结构安装及调整方便，解决了现有技术中由于需要安装若干细滚轮而导致安装和调整过程极为繁琐的问题。

当使用硅片刻蚀传动结构时，支架1与刻蚀槽相适配，并将硅片刻蚀传动结构放置于刻蚀槽内。其中，转轴3的直径为5-8cm。

所述支架1包括第一支架11、第二支架12及多个支撑杆13，所述支撑杆13设置于所述第一支架11和所述第二支架12之间，所述传送带2位于所述支撑杆13的上方，所述转轴3分别转动连接于所述第一支架11和所述第二支架12。其中，所述支撑杆13包括竖向支撑杆131和横向支撑杆132，所述横向支撑杆132垂直连接于所述竖向支撑杆131，且横向支撑杆132的两端分别连接于所述第一支架11和所述第二支架12。本实施例通过在传送带2下方设置横向支撑杆132和竖向支撑杆131，对传送带2进行支撑，能够避免由于传送带2波动而导致传送带2上的硅片发生过刻的现象。

所述辅助啮合部4固设于所述转轴3的两端并位于所述传送带2的两侧，其中，所述辅助啮合部4为端面齿轮。通过将辅助啮合部4设置于转轴3的两端，并与传送带2的两侧的锯齿21啮合传动，从而保证了传送带2传送的同步性，进而保证了传送带2传送过程中的稳定性。此外，还能简化硅片刻蚀传动结构，使得硅片刻蚀传动结构安装、调整方便。

上述传送带2为网状结构，传送带2包括若干网格22，所述网格22为菱形结构，网格22的长度为0.2-0.5cm，所述网格22的宽度为0.1-0.3cm，使网格22与滚轮上的齿牙相适配，方便齿牙插入网格内，其中长度方向为图2中的L方向，宽度方向为图2中的W方向。本实施例通过将传送带2设置为覆盖于支撑杆13上的镂空的网状结构，硅片放置于传送带2上，通过依靠液体的毛细现象，使传送带2上放置硅片的位置能够吸引液体，从而达到去除硅片的底部面及周边的PN结的效果。

上述转轴3上设置有不少于一个的滚轮(未示出)，所述滚轮周向设置有齿牙，所述齿牙与所述网格22相适配，并能够插入所述网格22内。其中，滚轮上设置的齿为三角形结构，方便插入网格内，并拨动传送带2传动。当驱动电机驱动转轴3转动时，辅助啮合部4随转轴3转动并与传送带2两侧的锯齿21啮合传动，驱动传送带2传动，传送带2带动硅片移动时，滚轮插入传送带2上的网格22内，有效地防止了传送带2的跳动，保证了传送带2的平衡性，进一步地保证了传送带2传动时的稳定性。避免了传送带2传动过程中不平稳而导致硅片过刻的现象。作为优选，每一转轴3上均固设两个滚轮，既保证了传送带2的稳定性，又使得硅片刻蚀传动结构安装、调整方便。需要说明的是，所述齿牙未超出所述传送带2的上表面，从而有效地避免了滚轮上的齿牙对传送带2上的硅片造成干涉。

注意，以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施方式的限制，上述实施方式和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。