技术总结
本发明揭示一种检验方法，其包含：接收衬底的多个检验图像。所述方法包含：从来自第一通道的第一图像产生第一噪声图像，及从来自额外通道的额外图像产生额外噪声图像。所述方法进一步包含：从所述第一噪声图像产生第一信噪比SNR图像，及从所述额外噪声图像产生额外SNR图像；以及识别所述第一SNR图像及所述额外SNR图像中的一或多个第一像素候选者。所述方法进一步包含：基于所述一或多个经识别第一像素候选者及所述一或多个经识别额外像素候选者，在共同像素候选位点处，将来自所述第一SNR图像的图像数据与来自所述额外SNR图像的图像数据组合以形成用于检测所述衬底上的缺陷的组合图像。
技术研发人员：P·M·桑卡;A·巴拉达拉真
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
技术研发日：2017.02.23
技术公布日：2018.10.23