背照式图像传感器及其形成方法与流程

文档序号:14875786发布日期:2018-07-07 06:11阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种背照式图像传感器及其形成方法,图像传感器包括:位于晶圆主体第一区内的第一感光器件和第一存储节点;位于晶圆主体第一区中的第一槽,第一槽位于第一存储节点上;位于第一槽中的第一附加反射结构,第一附加反射结构的侧壁表面与第一附加反射结构底部表面之间呈锐角,第一附加反射结构包括第一附加反射层,至少第一附加反射结构的侧壁表面暴露出第一附加反射层;位于第一槽底部的第一底反射层,第一底反射层至少位于第一附加反射结构侧部的第一槽底部,第一附加反射层和第一底反射层在第一槽底部表面的投影完全覆盖第一存储节点;位于第一槽中的第一透光层。所述背照式图像传感器的光电转换效率得到提高。

技术研发人员:龙海凤;李天慧;藤井光一
受保护的技术使用者:德淮半导体有限公司
技术研发日:2018.01.30
技术公布日:2018.07.06
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