技术总结
一种晶片卡盘，包括支撑结构，该支撑结构具有在结构上构造成支撑晶片的第一侧，和形成在支撑结构的第一侧上的真空分区。真空分区可以至少部分地由从支撑结构的第一侧的凹陷表面延伸的环形件界定。晶片卡盘还包括设置在真空分区中的多个吸盘，其中多个吸盘中的一个或更多个与延伸穿过支撑结构的通道联接。一个或更多个真空装置与通道流体连通，其中真空装置在结构上被构造成通过通道提供抽吸。
技术研发人员：M.L.赖特
受保护的技术使用者：SONIX公司
技术研发日：2018.03.29
技术公布日：2018.10.23