1.一种自组装纳米级金属岛状掩膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1. 在待加工样品(1)表面覆盖一层预铺膜层(2),预铺膜层(2)的厚度为5~200nm;
S2. 在预铺膜层(2)上制作一层金属薄层(3),金属薄层(3)的厚度为3~20nm;
S3. 快速高温热处理使金属薄层(3)转化为纳米级的金属岛状分布,成为掩膜(4)。
2.根据权利要求1所述的一种自组装纳米级金属岛状掩膜的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中,预铺膜层(2)为SiO2、SiNx、ITO或ZnO的透明薄膜。
3.根据权利要求1所述的一种自组装纳米级金属岛状掩膜的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中,待加工样品(1)为Si、GaN、GaAs、GaP或Al2O3半导体材料。
4.根据权利要求1所述的一种自组装纳米级金属岛状掩膜的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中,金属薄层(3)由Ni、Ag、Al和Au的单金属材料或合金材料制成。
5. 根据权利要求1所述的一种自组装纳米级金属岛状掩膜的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中,预铺膜层(2)的制作方法采用的是金属化学气相沉积(MOCVD)或 等离子体增强化学气相沉积(PECVD),且预铺膜层(2)在高温环境下其表面形貌不会受到破坏。
6.根据权利要求5所述的一种自组装纳米级金属岛状掩膜的制备方法,其特征在于,采用金属化学气相沉积(MOCVD)制作的预铺膜层(2)为多晶薄膜,表面形貌成多晶纳米结构形貌。
7.根据权利要求5所述的一种自组装纳米级金属岛状掩膜的制备方法,其特征在于,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制作的预铺膜层(2)为非晶薄膜,表面形貌平坦。
8.根据权利要求1所述的一种自组装纳米级金属岛状掩膜的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中,金属薄层(3)的制作方法采用的是电子束蒸发、热蒸发或者磁控溅射。
9.根据权利要求1所述的一种自组装纳米级金属岛状掩膜的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中,快速高温热处理的工艺条件是:温度600~1000℃,时间0.5~5min,气氛:惰性气体。