一种图形化方法与流程

文档序号:15464219发布日期:2018-09-18 18:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种图形化方法,其特征在于,包括:

在基底上制作至少一凸起结构,所述凸起结构的位置与需要图形化的区域对应;

在所述凸起结构上形成一膜层;

采用纳米压印模板对所述膜层进行图形化。

2.根据权利要求1所述的图形化方法,其特征在于,在所述基底上制作至少两邻接的凸起结构,相邻的所述凸起结构的高度不同;

沿平行于所述基底的方向,所述凸起结构的宽度小于或等于所述纳米压印模板的宽度。

3.根据权利要求2所述的图形化方法,其特征在于,沿垂直于所述基底的方向,高度最小的所述凸起结构的高度,与所述纳米压印模板的下压高度相等。

4.根据权利要求2所述的图形化方法,其特征在于,沿垂直于所述基底的方向,相邻的所述凸起结构的高度差,不小于所述纳米压印模板的下压深度。

5.根据权利要求2所述的图形化方法,其特征在于,所述采用纳米压印模板对所述膜层进行图形化,包括:

按照所述凸起结构的高度递增的顺序,采用纳米压印模板依次对所述凸起结构上方的所述膜层进行图形化。

6.根据权利要求5所述的图形化方法,其特征在于,所述采用纳米压印模板对所述膜层进行图形化,还包括:

按照所述凸起结构的高度递增的顺序,依次对完成图形化的膜层进行遮挡。

7.根据权利要求1-6任一项所述的图形化方法,其特征在于,在基底上制作凸起结构,包括:

采用构图工艺在所述基底上制作凸起结构。

8.根据权利要求7所述的图形化方法,其特征在于,所述凸起结构的材料包括有机树脂,或无机透明材料。

9.根据权利要求8所述的图形化方法,其特征在于,所述无机透明材料包括氮化硅或氧化硅。

10.根据权利要求1所述的图形化方法,其特征在于,所述在所述凸起结构上形成一膜层,包括:

采用构图工艺在所述凸起结构上形成一金属层。

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