技术特征：
技术总结
本发明公开了一种卸载石墨舟载具中成组硅片的吸盘组件机构及卸载方法，解决了真空吸附组件在抓取石墨舟中的成组硅片时容易导致硅片碎裂的问题。在石墨舟载具（1）的正上方设置有真空吸盘组件，在真空吸盘组件的底座（5）上等间隔地设置有向下伸出的吸附板（6），在气管槽（7）内嵌入有台阶状圆柱体真空吸盘（9），台阶状圆柱体真空吸盘（9）通过气管槽（7）内的气管（8）与真空发生器连通，台阶状圆柱体真空吸盘（9）的右侧面设置在台阶状圆柱体真空吸盘（9）所嵌入的吸附板（6）的右侧面的外侧，在台阶状圆柱体真空吸盘（9）的右侧面下端设置有倒角倾斜面（12）。本发明结构简单，实用方便，有效地避免了吸盘将硅片压碎的情况发生。
技术研发人员：戎有兰;杜虎明;岳军;王彩云;李永明
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第二研究所
技术研发日：2018.05.22
技术公布日：2018.11.16