一种石墨烯/C60复合薄膜紫外探测器及制备方法与流程

文档序号:15698133发布日期:2018-10-19 19:23阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种基于石墨烯/C60复合吸收层的紫外光探测晶体管,所述晶体管由下而上依次包括栅极金属层、高掺杂硅栅、栅极介质层、石墨烯与C60复合吸收层;所述的高掺杂硅栅和栅极介质层同时支撑石墨烯/C60复合吸收层薄膜,作为整个晶体管器件的衬底;所述的石墨烯/C60复合吸收层由单层或若干层石墨烯和一定厚度的C60组成;石墨烯位于C60的下端,同时作为C60生长的模板;其中,石墨烯和栅极介质层接触,在石墨烯层的两端制作有源极、漏极;石墨烯和C60通过范德华力相互作用,形成具有紫外吸收特性的异质结晶体管。可将所述的多个紫外光探测晶体管进行阵列集成。本发明提供了该阵列系统用于光谱检测分析和图像识别的具体方案。

技术研发人员:王枫秋;江洪柱;秦书超;徐永兵;张荣
受保护的技术使用者:南京大学
技术研发日:2018.06.11
技术公布日:2018.10.19
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