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功率半导体器件的制作方法
文档序号:15644477
发布日期:2018-10-12 22:25
阅读:
来源:国知局
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功率半导体器件的制作方法
技术特征:
技术总结
一种功率半导体器件,包括:第一类型掺杂的半导体层;位于所述半导体层表面的栅极结构;位于所述栅极结构两侧的半导体层内的第二类型掺杂的体区;位于所述体区之间的半导体层内的载流子吸收区。所述功率半导体器件具有较高的抗SEGR能力。
技术研发人员:
李述洲;王兴龙;徐向涛;刘道广;万欣;晋虎
受保护的技术使用者:
重庆平伟实业股份有限公司;嘉兴奥罗拉电子科技有限公司
技术研发日:
2018.06.22
技术公布日:
2018.10.12
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