一种半透明有机太阳能电池器件制作方法与流程

文档序号:16093746发布日期:2018-11-27 23:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半透明有机太阳能电池器件制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1:Ag纳米棒阵列在ITO(氧化铟锡)电极上的生长:在ITO玻璃基板上依次溅射黏合层Ti、成核层Au和Al膜,然后通过阳极氧化法形成Al2O3纳米孔模板,接下来,采用电化学沉积法在模板里沉积Ag纳米棒,最后通过碱液去除Al2O3模板,得到竖直生长在ITO玻璃基板上的的银纳米棒阵列;

S2:电子传输层的旋涂:将乙酸锌与2-甲氧乙醇混合,然后滴入乙醇胺作为稳定剂,配置Zn2+浓度为0.5M的前驱液;采用“预浸润-旋涂-退火”多次循环法制备无针孔共形ZnO包覆层;

S3:聚合物的旋涂:将样品浸在氯苯溶液中3min,然后取出样品;将80ul质量比为1:0.8的P3HT:PCBM聚合物的氯苯溶液均匀滴在样品表面,先以100rpm速度旋转2min,再以1500rpm旋转1min;

S4:缓冲层和透明电极的蒸镀:将样品放在设计好的掩模版上,然后放入真空蒸镀机(真空度~10-8mbarr),依次蒸镀缓冲层MoO3、种子层Al、钙银(Ca:Ag)混合透明电极、有机透明封装层Alq3。

2.根据权力要求1所述的制备方法,S4中所述的缓冲层MoO3的蒸发沉积厚度为3-8nm,种子层Al的蒸发厚度约为1nm,钙银(Ca:Ag)混合透明电极的沉积厚度为9-14nm,有机透明封装层Alq3的蒸发沉积厚度为~60nm。

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