技术特征：
技术总结
本发明公开了一种纳米合金薄膜透明电极制备方法及装置，该装置中包括用于金属薄膜沉积生长的反应腔体，反应腔体内设置有感应加热器、金属蒸发源和托盘，托盘上放置有用于电极制备的芯片基板，托盘通过步进电机带动旋转杆进行旋转，反应腔体上设置有氮气入口，真空泵接口，所述装置的工作过程由控制系统进行控制。本发明纳米合金薄膜透明电极制备工艺及装置用于制备纳米银基合金透明电极材料，其表面平整度高、透光率高、电阻低并且制备成本低。
技术研发人员：严晗;江威;李鹏辉;李鹏;李欢欢;邱彤;梁馨月
受保护的技术使用者：武汉理工大学
技术研发日：2018.07.17
技术公布日：2018.12.04