基板检查系统以及使用基板检查系统制造半导体器件的方法与流程

本申请要求于2017年9月26日提交的韩国专利申请no.10-2017-0124464的优先权，其全部公开内容通过引用合并于此。

本发明构思的示例性实施例涉及一种握持装置和包括握持装置的基板检查系统，以及一种使用基板检查系统制造半导体器件的方法。

背景技术：

随着半导体工艺变得更加复杂，对半导体器件上产生的颗粒进行检查的重要性正在增加。对半导体基板上的颗粒的检查并且减少颗粒可以改善半导体器件的可靠性并且可以提高工艺产量。光学装置可用于检查半导体基板上的颗粒。

技术实现要素：

本发明构思的示例性实施例提供了一种用于减小或最小化基板的未检查区域的握持装置以及包括该握持装置的基板检查系统。

根据本发明构思的示例性实施例，一种基板检查系统包括：浮动单元，被配置为使基板浮动；检查单元，布置在浮动单元上方；握持单元，布置在检查单元下方且包括被配置为将基板保持在浮动单元上的第一握持构件；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动握持单元；以及被配置为产生光的照明单元。检查单元被配置为检查在浮动单元上浮动的基板，照明单元布置在握持单元的移动路径上，以使得由照明单元产生的光照射到检查单元上。第一握持构件包括被配置为吸附基板的第一吸附垫和支撑第一吸附垫的第一支撑构件，第一支撑构件包括第一开口，照明单元插入第一开口中。

根据本发明构思的示例性实施例，一种基板检查系统包括：浮动单元，被配置为使基板浮动；握持单元，被配置为将基板保持在浮动单元上；第一照明构件，布置在第一握持构件和第二握持构件之间；以及握持传送单元，被配置为移动握持单元。握持单元包括：彼此间隔开的第一握持构件和第二握持构件；以及被配置为将光照射到基板上的第一照明构件。第一握持构件和第二握持构件中的每一个均包括：吸附垫，被配置为吸附所述基板；支撑架，布置在吸附垫下方并且沿远离第一照明构件的方向与吸附垫间隔开；以及支撑板，将吸附垫连接到支撑架。

根据本发明构思的示例性实施例，一种握持装置，包括：托盘、布置在托盘上的第一握持构件，以及布置在托盘上并沿第一方向与第一握持构件间隔开的第二握持构件。第一握持构件包括第一支撑构件，第一支撑构件包括：与托盘间隔开的第一支撑板、将第一支撑板连接到托盘的第一支撑架、第一开口和第一吸附垫。第一开口沿第一方向在第一支撑板的第一侧表面和第一支撑架的内表面之间延伸。第一侧表面面对第二握持构件。第一吸附垫布置在第一支撑板上并且被配置为吸附基板，并且与第一侧表面相邻。

根据本发明构思的示例性实施例，一种制造半导体器件的方法，包括：使用基板形成半导体器件，并且使用根据上述任一实施例的基板检查系统测试基板。使用基板检查系统测试所述基板包括：使用基板检查系统的浮动单元使基板浮动；使用基板检查系统的握持单元将基板保持在浮动单元上。握持单元包括彼此间隔开的第一握持构件和第二握持构件。测试所述基板还包括：由基板检查系统的握持传送单元移动握持单元，以及由布置在第一握持构件和第二握持构件之间的照明构件产生光。光照射到基板上。测试所述基板还包括：由基板检查系统的检查单元检查在浮动单元上浮动的基板。光穿过基板照射到检查单元上，并且检查单元使用照射到检查单元上的光来检查基板。第一握持构件和第二握持构件中的每一个均包括：吸附垫，吸附所述基板；支撑架，布置在吸附垫下方并且沿远离照明构件的方向与吸附垫间隔开；以及支撑板，将吸附垫连接到支撑架。

附图说明

通过参考附图详细描述本发明构思的示例性实施例，本发明构思的以上和其他特征将变得更显而易见，其中：

图1示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的基板检查系统的平面图。

图2示出了部分地示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的平面图。

图3示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的侧视图。

图4示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的正视图。

图5示出了部分地示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的框图。

图6示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图2的部分a的放大视图。

图7示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的握持单元的透视图。

图8示出了根据本发明构思的示例性实施例的沿图7的线i-i’截取的截面图。

图9示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的第一台架、第一光学构件和第一照明构件的正视图。

图10示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的基板检查系统的平面图。

图11示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的基板检查系统的平面图。

图12示出了部分地示出根据本发明构思的示例性实施例的图11的基板检查系统的平面图。

图13示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图11的握持单元的透视图。

图14示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图11的引导构件的侧视图。

图15示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的握持单元的透视图。

图16示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图15的握持单元的截面图。

图17至图20示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的在基板检查中操作的图1的基板检查系统的示意图。

具体实施方式

图1示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的基板检查系统的平面图。图2示出了部分地示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的平面图。图3示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的侧视图。图4示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的正视图。图5示出了部分地示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的框图。图6示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图2的部分a的放大视图。

参考图1至图6，根据本发明构思的示例性实施例的基板检查系统10使用光来检查在用于制造半导体器件的基板上是否存在缺陷。基板允许光从中穿过。例如，基板可以是允许光从中穿过的玻璃面板或可以包括允许光从中穿过的玻璃面板。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。基板检查系统10可以包括基座100、台架400、浮动单元200、第一基板传送单元150、照明单元300、照明移动单元350、检查单元500、第二基板传送单元600和控制器700。

基座100支撑基板检查系统10的组件。例如，基座100可以支撑台架400、浮动单元200、第二基板传送单元600的一部分、照明单元300和第一基板传送单元150。

浮动单元200可以使基板在浮动单元200上方浮动。例如，浮动单元200可以朝基板喷射气体g(例如，空气)，从而使基板浮动。在本描述中，术语“浮动”意味着基板浮在浮动单元200上方，同时与浮动单元200间隔开。

浮动单元200可以置于基座100的上表面110上。浮动单元200可以包括彼此间隔开的多个浮动台210、220、230、240、250和260以及向浮动台210至260供应气体g的气体源。

当在平面图中观看时，浮动台210至260可以沿第一方向d1和基本垂直于第一方向d1的第二方向d2排列，如图1所示。浮动台210至260中的每一个可以在其上表面上包括多个喷孔sh，如图6所示。当在平面图中观看时，喷孔sh可以沿第一方向d1和第二方向d2排列，如图6所示。浮动台210至260中的每一个可以被配置为使得气体g通过喷孔sh向上喷射。因此，由于气体g通过喷孔sh向上喷射，基板可以在浮动台210至260上方浮动。浮动台210至260中的每一个可以在其上表面上包括多个通孔th，如图6所示。多个通孔th可以沿第一方向d1和第二方向d2排列，如图6所示。

在示例性实施例中，浮动单元200可以包括第一至第六浮动台210、220、230、240、250和260。当在平面图中观看时，可以以矩形的形式提供第一至第六浮动台210至260中的每一个。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。

第二浮动台220可以在第一方向d1与第一浮动台210间隔开，如图1和图2所示。在这种配置中，可以在第一浮动台210和第二浮动台220之间布置第一空间s1，如图2所示。

第三浮动台230可以在第二方向d2与第一浮动台210间隔开，如图1和图2所示。因此，可以在第一浮动台210和第三浮动台230之间布置第二空间s2，如图2所示。

第四浮动台240可以在第二方向d2与第二浮动台220间隔开，如图1和图2所示。第四浮动台240可以在第一方向d1与第三浮动台230间隔开，如图1和图2所示。因此，可以在第三浮动台230和第四浮动台240之间布置第三空间s3，并且可以在第二浮动台220和第四浮动台240之间布置第四空间s4，如图2所示。

第五浮动台250可以在第一方向d1与第二浮动台220间隔开，如图1和图2所示。因此，可以在第二浮动台220和第五浮动台250之间布置第五空间s5。

第六浮动台260可以在第二方向d2与第五浮动台250间隔开，如图1和图2所示。第六浮动台260可以在第一方向d1与第四浮动台240间隔开，如图1和图2所示。因此，可以在第五浮动台250和第六浮动台260之间布置第六空间s6，并且可以在第四浮动台240和第六浮动台260之间布置第七空间s7，如图2所示。

当在平面图中观看时，第二空间s2、第四空间s4和第六空间s6可以沿第一方向d1顺序排列，如图2所示。第二空间s2、第四空间s4和第六空间s6可以位于同一条线上。例如，第二空间s2、第四空间s4和第六空间s6可以沿第一方向d1彼此对齐，以形成在浮动台之间沿第一方向d1延伸的连续空间。在下文中，与第二空间s2、第四空间s4和第六空间s6重叠(例如，垂直重叠)的区域被称为握持单元610的移动区域ma。当在平面图中观看时，移动区域ma可以沿第一方向d1形成，如图2所示。移动区域ma由第二空间s2、第四空间s4和第六空间s6的组合形成。在示例性实施例中，移动区域ma可以沿第一方向d1延伸穿过浮动单元200。

当在平面图中观看时，第一空间s1、第三空间s3、第五空间s5和第七空间s7可以沿第二方向d2延伸，如图2所示。第一空间s1和第三空间s3可以位于同一条线上。例如，第一空间s1和第三空间s3可以沿第二方向d2彼此对齐，以形成在一些浮动台之间沿第二方向d2延伸的连续空间，如图2所示。在下文中，与第一空间s1和第三空间s3重叠(例如，垂直重叠)的区域被称为第一检查区域ia1。

第五空间s5和第七空间s7可以位于同一条线上。例如，第五空间s5和第七空间s7可以沿第二方向d2彼此对齐，以形成在一些浮动台之间沿第二方向d2延伸的连续空间，如图2所示。与第五空间s5和第七空间s7重叠(例如，垂直重叠)的区域被称为第二检查区域ia2。第一检查区域ia1和第二检查区域ia2可以沿第二方向d2延伸穿过浮动单元200，如图2所示。在示例性实施例中，第一检查区域ia1和第二检查区域ia2可以与移动区域ma实质相交(例如，实质上垂直相交)。例如，如图2所示，第一检查区域ia1和第二检查区域ia2沿第二方向d2延伸，并且移动区域ma沿第一方向d1延伸。在示例性实施例中，第一方向d1和第二方向d2基本上彼此垂直。因此，在示例性实施例中，第一检查区域ia1和第二检查区域ia2基本垂直于移动区域ma延伸，并且与移动区域ma相交。

第一基板传送单元150可以将基板传送到浮动单元200。在示例性实施例中，第一基板传送单元150可以传送没有被浮动单元200浮动的基板。第一基板传送单元150可以沿第一方向d1传送基板。第一基板传送单元150可以设置在基座100的上表面110上。第一基板传送单元150可以包括多个辊151、转动部分和升降部分153。

当在平面图中观看时，辊151可以沿第一方向d1和第二方向d2排列。辊151可以与通孔th重叠(例如，垂直重叠)，如图3所示。升降部分153可以升高或降低辊151。因此，升降部分153可以使辊151穿过通孔th。升降部分153可以是液压缸或气压缸或可以包括液压缸或气压缸。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。转动部分可以转动辊151。转动部分可以是转动马达或可以包括转动马达。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。

台架400可以布置在基座100的上表面110上，如图3所示。在示例性实施例中，台架400可以包括第一台架410和第二台架420，第二台架420沿第一方向d1与第一机架410间隔开。第一台架410和第二台架420可以刚性连接到基座100。第一台架410和第二台架420可以具有相同的结构。以下将参照图9更详细地描述台架400。

检查单元500可以布置在浮动单元200、照明单元300和握持单元610上方，如图3所示。例如，检查单元500可以沿基本上垂直于第一方向d1和第二方向d2的第三方向d3与浮动单元200、照明单元300和握持单元610间隔开。检查单元500可以与台架400接合(例如，检查单元500和台架400可以彼此物理地耦合)。检查单元500可以检查由浮动单元200浮动的基板。检查单元500可以包括多个光学构件510和520以及移动光学构件510和520的光学构件移动部分。

多个光学构件510和520可以包括与第一台架410可移动地接合的第一光学构件510以及与第二台架420可移动地接合的第二光学构件520。在示例性实施例中，第一光学构件510和第二光学构件520可以包括电荷耦合器件相机。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。第一光学构件510和第二光学构件520可以使用由第一照明构件310和第二照明构件320产生的光(这将在下面讨论)，由此拍摄基板。因此，第一光学构件510和第二光学构件520可以获得基板的图像信息i。所获得的图像信息i可以被发送到控制器700。

第一光学构件510可以沿第二方向d2按规则距离排列。例如，在示例性实施例中，针对所有第一光学构件510，沿第二方向d2排列的相邻第一光学构件510之间的距离大致相等。第一光学构件510可以与第一空间s1和第三空间s3重叠(例如，垂直重叠)。例如，第一光学构件510可以位于第一检查区域ia1内(参见图2)。

第二光学构件520可以沿第二方向d2按规则距离排列。例如，在示例性实施例中，针对所有第二光学构件520，沿第二方向d2排列的相邻第二光学构件520之间的距离大致相等。第二光学构件520可以与第五空间s5和第七空间s7重叠(例如，垂直重叠)。例如，第二光学构件520可以位于第二检查区域ia2内(参见图2)。

光学构件移动部分可以驱动光学构件510和520中的每一个沿第二方向d2和与第二方向d2相反的逆方向往复移动。因此，光学构件510和520中的每一个可以检查基板的一部分，同时往复移动一定距离。在示例性实施例中，光学构件移动部件可以是或可以包括线性马达。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。

照明单元300可以沿朝向检查单元500的方向产生光l，从而用光l照射检查单元500。例如，由照明单元300产生的光l可以照射到基板上，并且穿过基板,从而也照射到检查单元500上。在示例性实施例中，照明单元300布置在检查单元500和浮动单元200下方，并且基板位于照明单元300和检查单元500之间。在这种配置中，照明单元300可以沿朝向浮动单元200上的基板的方向产生光l，从而用光l照射基板(参见图18)。照明单元300可以布置在握持单元610的移动路径上，同时穿过握持单元610的移动路径，这将在下面进一步讨论。照明单元300可以包括一个或多个照明构件310和320。例如，握持单元610在移动区域ma(参见图2)中移动，并且照明单元300的一部分布置在握持单元610移动的移动区域ma中。例如，如图1和2所示，第一照明构件310在与第一检查区域ia1相对应的区域中沿第二方向d2延伸并且与移动区域ma交叉，导致第一照明构件310的一部分布置在握持单元610的移动路径上。类似地，第二照明构件320在与第二检查区域ia2相对应的区域中沿第二方向d2延伸并且与移动区域ma交叉，导致第二照明构件320的一部分布置在握持单元610的移动路径上。

在示例性实施例中，照明单元300可以包括第一照明构件310和第二照明构件320，第二照明构件320沿第一方向d1与第一照明构件310间隔开，如图3所示。第一照明构件310和第二照明构件320中的每一个可以具有沿第二方向d2伸长的条形形状。第一照明构件310和第二照明构件320可以沿向上方向产生光l。

第一照明构件310可以布置在第一浮动台210和第二浮动台220之间和/或布置在第三浮动台230和第四浮动台240之间。第一照明构件310可以与第一空间s1和第三空间s3重叠(例如，垂直重叠)。例如，第一照明构件310可以位于第一检查区域ia1内。第一照明构件310可以与第一光学构件510重叠(例如，垂直重叠)。

第二照明构件320可以布置在第二浮动台220和第五浮动台250之间和/或布置在第四浮动台240和第六浮动台260之间。第二照明构件320可以与第五空间s5和第七空间s7重叠(例如，垂直重叠)。第二照明构件320可以位于第二检查区域ia2内。第二照明构件320可以与第二光学构件520重叠(例如，垂直重叠)。第一照明构件310和第二照明构件320中的每一个可以具有高度h1(参见图4)。在本描述中，术语“高度”表示沿第三方向d3的长度。

照明移动单元350可以向照明单元300提供驱动力。因此，照明移动单元350可以移动照明单元300。在示例性实施例中，照明移动单元350可以驱动第一照明构件310和第二照明构件320以使它们沿第二方向d2并且沿与第二方向d2相反的逆方向移动。照明移动单元350可以是或可以包括线性马达。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。

第二基板传送单元600可以驱动基板在浮动单元200上移动。例如，第二基板传送单元600可以传送被浮动单元200浮动的基板。第二基板传送单元600可以包括握持单元610和握持传送单元650，如图1所示。

握持单元610可以将基板保持(hold)在浮动单元200上。握持单元610可以布置在检查单元500下方。在示例性实施例中，握持单元610可以位于移动区域ma上。例如，握持单元610可以布置在移动区域ma中并在移动区域ma内移动。握持单元610可以包括第一握持构件611、第二握持构件612和托盘613，如图3所示。

第一握持构件611和第二握持构件612可以保持基板。例如，第一握持构件611和第二握持构件612可以握持基板的边缘。第二握持构件612可以在第一方向d1与第一握持构件611间隔开。第一握持构件611和第二握持构件612可以在照明单元300的两侧彼此间隔开。例如，照明单元300可以位于第一握持构件611和第二握持构件612之间，如图3所示。将在下面进一步详细讨论握持单元610。

握持传送单元650可以移动握持单元610。例如，握持传送单元650可以驱动握持单元610以使握持单元610沿第一方向d1和与第一方向d1相反的逆方向移动。在示例性实施例中，握持传送单元650可以驱动握持单元610在移动区域ma内往复移动。因此，握持传送单元650可以驱动握持单元610在第一浮动台210和第三浮动台230之间、第二浮动台220和第四浮动台240之间、以及第五浮动台250和第六浮动台260之间移动。如此，当握持传送单元650移动握持单元610时，浮动单元200可以不造成干扰。

握持传送单元650可以移动托盘613，从而传送握持单元610。因此，握持传送单元650可以同时移动位于托盘613上的第一握持构件611和第二握持构件612。握持传送单元650可以包括能够移动握持单元610的各种驱动方法。例如，握持传送单元650可以包括线性马达。然而，握持传送单元650不限于此。

控制器700可以控制第一基板传送单元150、浮动单元200、握持单元610、握持传送单元650、照明单元300和检查单元500的操作。控制器700可以使用由检查单元500获得的图像信息i来检测基板的缺陷。

图7示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的握持单元的透视图。图8示出了根据本发明构思的示例性实施例的沿图7的线i-i’截取的截面图。

参考图3、图6、图7和图8，握持单元610可以包括第一握持构件611、第二握持构件612和托盘613。

托盘613可以支撑第一握持构件611和第二握持构件612。托盘613可以连接彼此间隔开的第一握持构件611和第二握持构件612。托盘613可以沿第一方向d1伸长。托盘613可以位于浮动单元(参见图3的200)和照明单元(参见图3的300)下方。在示例性实施例中，托盘613可以沿设置在基座100上的轨道移动。

第一握持构件611可以设置在托盘613上。在示例性实施例中，第一握持构件611可以与托盘613的一端相邻。第一握持构件611可以包括第一吸附垫6111和第一支撑构件6112。

第一支撑构件6112可以支撑第一吸附垫6111。第一支撑构件6112可以具有第一开口op1，照明单元300插入第一开口op1中。在示例性实施例中，第一照明构件(参见图3的310)可以插入第一开口op1中。

如图7和图8所示，第一支撑构件6112可以包括面对第二握持构件612的第一侧表面6112a和与第一侧表面6112a相对的第三侧表面。第一开口op1可以从第一侧表面6112a朝向第三侧表面凹进。例如，第一开口op1可以沿第一方向d1在第一侧表面6112a和第一支撑架6113的内表面6113a之间延伸。第一支撑构件6112可以包括第一支撑板6114和第一支撑架6113。在示例性实施例中，第一支撑板6114和第一支撑架6113可以一体成形为单体结构。

第一支撑板6114可以沿第三方向d3与托盘613间隔开。第一支撑板6114可以具有彼此面对的上表面6114a和下表面6114b。在本描述中，术语“面对”意味着位于相对侧。第一支撑板6114的下表面6114b可以面对托盘613。第一支撑板6114可以连接彼此间隔开的第一吸附垫6111和第一支撑架6113。当在平面图中观看时，第一支撑板6114可以具有矩形形状。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。

第一支撑架6113可以位于第一支撑板6114和托盘613之间并且连接第一支撑板6114和托盘613。第一支撑架6113可以布置在第一支撑板6114的下表面6114b下方。第一支撑架6113可以布置在托盘613的上表面上。第一支撑架6113可以布置在第一吸附垫6111下方。

第一支撑架6113和第一吸附垫6111可以沿第一方向d1彼此间隔开，如图7和图8所示。第一支撑架6113可以与第一支撑板6114的第一端相邻。第一支撑架6113可以包括面对第二握持构件612的内表面6113a和与内表面6113a相对的外表面6113b。第一支撑架6113可以布置为基本垂直于第一支撑板6114。

第一侧表面6112a可以包括第一支撑板6114的第二端。第三侧表面可以包括第一支撑板6114的第一端和第一支撑架6113的外表面6113b。

第一吸附垫6111可以吸附基板。例如，可以从吸附单元(例如，真空泵)向第一吸附垫6111提供负压，从而保持基板。因此，第一握持构件611可以握持基板。第一吸附垫6111可以在其上表面上包括多个吸气孔ih。

第一吸附垫6111可以布置在第一支撑构件6112上。例如，第一吸附垫6111可以位于第一支撑板6114的上表面6114a上，如图8所示。第一吸附垫6111可以与第一支撑板6114的第二端相邻。第一吸附垫6111可以在第一方向d1与第一支撑架6113间隔开。第一吸附垫6111可以包括弹性材料。例如，第一吸附垫6111可以包括丙烯腈-丁二烯橡胶。

可以由第一支撑板6114和第一支撑架6113限定第一开口op1。第一开口op1可以布置在第一支撑板6114的下表面6114b下方。在示例性实施例中，第一开口op1可以布置在第一支撑板6114和托盘613之间。例如，第一开口op1可以位于第一吸附垫6111和托盘613之间。第一开口op1的高度h2可以大于第一照明构件310的高度h1。第一开口op1的高度h2可以指托盘613和第一支撑板6114的下表面6114b之间的间隔距离。第一开口op1可以包括第一重叠区域oa1和第一非重叠区域noa1。

第一开口op1的一部分可以与第一吸附垫6111重叠并且与第一重叠区域oa1相对应。第一开口op1的另一部分还可以不与第一吸附垫6111重叠并且与第一非重叠区域noa1相对应。第一非重叠区域noa1可以位于第一重叠区域oa1和第一支撑架6113的内表面6113a之间。

第二握持构件612可以布置在托盘613上。在示例性实施例中，第二握持构件612可以与托盘613的相对端相邻。第二握持构件612可以包括第二吸附垫6121和第二支撑构件6122。

第二支撑构件6122可以支撑第二吸附垫6121。第二支撑构件6122可以具有第二开口op2，照明单元300插入第二开口op2中。在示例性实施例中，第二照明构件(参见图3的320)可以插入第二开口op2中。

第二支撑构件6122可以包括面对第一握持构件611的第二侧表面6122a和与第二侧表面6122a相对的第四侧表面。第二开口op2可以从第二侧表面6122a朝向第四侧表面凹进。例如，第二开口op2可以沿第一方向d1在第二侧表面6122a和第二支撑架6123的内表面6123a之间延伸。第二支撑构件6122可以包括第二支撑板6124和第二支撑架6123。

第二支撑板6124可以沿第三方向d3与托盘613间隔开。第二支撑板6124可以具有彼此面对的上表面6124a和下表面6124b。第二支撑板6124的下表面6124b可以面对托盘613。第二支撑板6124可以连接彼此间隔开的第二吸附垫6121和第二支撑架6123。当在平面图中观看时，第二支撑板6124可以具有矩形形状。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。

第二支撑架6123可以位于第二支撑板6124和托盘613之间并且连接第二支撑板6124和托盘613。第二支撑架6123可以布置在第二支撑板6124的下表面6124b下方。第二支撑架6123可以位于托盘613的上表面上。第二支撑架6123可以位于第二吸附垫6121下方。

第二支撑架6123和第二吸附垫6121可以沿第一方向d1彼此间隔开，如图7和图8所示。第二支撑架6123可以与第二支撑板6124的第一端相邻。第二支撑架6123可以包括面对第一握持构件611的内表面6123a和与内表面6123a相对的外表面6123b。第二支撑架6123可以布置为基本垂直于第二支撑板6124。

第二侧表面6122a可以包括第二支撑板6124的第二端。第四侧表面可以包括第二支撑板6124的第一端和第二支撑架6123的外表面6123b。

第一支撑构件6112和第二支撑构件6122可以包括具有优异强度的材料。例如，第一支撑构件6112和第二支撑构件6122可以包括铝(al)。

第二吸附垫6121可以吸附基板。第二吸附垫6121可以与第一吸附垫6111同样地配置。第二吸附垫6121可以布置在第二支撑板6124的上表面6124a上。第二吸附垫6121和第二支撑架6123可以沿第一方向d1彼此间隔开。

可以通过第二支撑板6124和第二支撑架6123限定第二开口op2。第二开口op2可以布置在第二支撑板6124的下表面6124b下方。在示例性实施例中，第二开口op2可以布置在第二支撑板6124和托盘613之间。第二开口op2可以位于第二吸附垫6121和托盘613之间。第二开口op2的高度h2可以大于第二照明构件320的高度h1。第二开口op2的高度h2可以指托盘613和第二支撑板6124的下表面6124b之间的间隔距离。第二开口op2可以包括第二重叠区域oa2和第二非重叠区域noa2。

第二开口op2的一部分可以与第二吸附垫6121重叠并且与第二重叠区域oa2相对应。第二开口op2的另一部分还可以不与第二吸附垫6121重叠并且与第二非重叠区域noa2相对应。第二非重叠区域noa2可以位于第二重叠区域oa2和第二支撑架6123的内表面6123a之间。

图9示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的第一台架、第一光学构件和第一照明构件的正视图。

参考图1、图5和图9，第一台架410可以包括第一柱构件411、第二柱构件412和连接构件413。如上所述，第二台架420可以具有与第一台架410相同的结构。

第一柱构件411和第二柱构件412可以彼此间隔开。例如，第二柱构件412可以在第二方向d2与第一柱构件411间隔开。

连接构件413可以将第一柱构件411和第二柱构件412彼此连接。连接构件413可以沿第三方向d3与第一基座100间隔开。因此，连接构件413和基座100之间可以布置空间。该空间可以容纳浮动单元200的一部分和握持单元610的一部分。

连接构件413可包括沿第二方向d2按规则距离排列的多个第一引导件4131。例如，在示例性实施例中，针对所有第一引导件4131，沿第二方向d2排列的相邻第一引导件4131之间的距离大致相等。在示例性实施例中，可以以沿第二方向d2延伸的凹槽的形式提供第一引导件4131。在示例性实施例中，可以以沿第二方向d2延伸的轨道的形式提供第一引导件4131。

第一光学构件510可以与第一台架410接合。例如，第一光学构件510可以可移动地安装在连接构件413上。每个第一光学构件510可以包括沿第一引导件4131移动的第二引导件。在示例性实施例中，第二引导件可以是或可以包括插入第一引导件4131中的引导突起。如上所述，光学构件移动部分可以驱动第一光学构件510沿第一引导件4131往复移动。

第一照明构件310可以包括多个光源311和支撑板313。光源311可以布置在支撑板313上。光源311可以沿第二方向d2排列。光源311可以沿第三方向d3产生光l。在示例性实施例中，光源311可以是或可以包括发光二极管(led)。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。第二照明构件320可以具有与第一照明构件310相同的结构。

支撑板313可以具有沿第二方向d2伸长的条形形状。照明移动单元350可以驱动支撑板313。支撑板313可以沿第二方向d2以及与第二方向d2相反的逆方向移动。在这种配置中，光源311可以同时移动。

第一照明构件310可以与第一光学构件510的移动同步地沿第二方向d2以及与第二方向d2相反的逆方向移动。例如，当第一光学构件510沿第二方向d2移动时，第一照明构件310几乎同时沿第二方向d2移动。第一光学构件510和第一照明构件310在移动距离、移动速度等方面可以基本相同。因此，由第一照明构件310产生的光l可以均匀地照射到第一光学构件510上。因此，本发明构思的示例性实施例可以增强照射到第一光学构件510上的光l的均匀性，从而提高基板检查系统10的基板检查性能。

图10示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的基板检查系统的平面图。为了便于解释，可以省略与参考图1至图7所先前描述基本相同的组件的进一步描述。

参考图10，根据本发明构思的示例性实施例的基板检查系统11可以包括基座100、台架400、浮动单元200、第一基板传送单元150、检查单元500、照明单元300、照明移动单元350、第二传送单元600和控制器(参见图5的700)。

第二基板传送单元600可以包括多个握持单元610。在示例性实施例中，握持单元610可以包括在浮动单元200两侧彼此间隔开的一对握持单元。例如，握持单元610可以包括位于浮动单元200一侧的第一握持单元和沿第二方向d2与第一握持单元间隔开的第二握持单元。因此，在示例性实施例中，没有沿第一方向d1穿过浮动单元200的移动区域(参见图2的ma)。握持单元610可以具有彼此相同的结构。

握持传送单元650可以驱动握持单元610在大致相同的时间沿相同的方向移动。

图11示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的基板检查系统的平面图。图12示出了部分地示出根据本发明构思的示例性实施例的图11的基板检查系统的平面图。为了便于解释，可以省略与参考图1至图7所先前描述基本相同的组件的进一步描述。

参考图11和图12，根据本发明构思的示例性实施例的基板检查系统12可以包括基座100、台架400、浮动单元200、第一基板传送单元150、检查单元500、照明单元300、照明移动单元350、第二传送单元600和控制器(参见图5的700)。基板检查系统12还可以包括多个引导构件800。

引导构件800可以引导握持单元610的移动，同时支撑握持单元610。引导构件800可以布置在基座100上。引导构件800可以布置在移动区域ma内。引导构件800可以沿第一方向d1排列。彼此相邻的引导构件800可以在第一照明构件310或第二照明构件320两侧彼此间隔开。因此，可以防止引导构件800和照明单元300之间的干扰。

图13示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图11的握持单元的透视图。为了便于解释，可以省略与参考图7和图8所先前描述基本相同的组件的进一步描述。

参考图13，握持单元610a可以包括第一握持构件611、第二握持构件612和托盘613。

第一握持构件611可以包括第一吸附垫6111和第一支撑构件6112，并且还包括第一引导杆6115。第一支撑构件6112可以包括第一支撑架6113、第一支撑板6114和第一开口op1。

第一引导杆6115可以布置在第一支撑板6114上。第一引导杆6115可以位于第一吸附垫6111和第一开口op1之间。在示例性实施例中，第一引导杆6115可以沿第一方向d1伸长。

第二握持构件612可以包括第二吸附垫6121和第二支撑构件6122，并且还包括第二引导杆6125。第二支撑构件6122可以包括第二支撑板6124和第二支撑架6123。

第二引导杆6125可以布置在第二支撑板6124上。第二引导杆6125可以位于第二吸附垫6121和第二开口op2之间。在示例性实施例中，第二引导杆6125可以沿第一方向d1伸长。

图14示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图11的引导构件的侧视图。

参考图13和14，引导构件800可以包括引导槽810，第一引导杆6115和第二引导杆6125插入引导槽810中。引导槽810可以沿第一方向d1伸长。第一引导杆6115和第二引导杆6125可以在插入引导槽810的同时移动。因此，引导构件800可以引导握持单元610a的移动。

当握持传送单元(参见图11的650)使握持单元610a的移动加速或减速时，沿第三方向d3的第一力以及沿与第三方向d3相反的逆方向的第二力可作用于第一支撑板6114的第二端和/或第二支撑板6124的第二端。在比较示例中，第一支撑板6114和第二支撑板6124的第二端可以因为第一力和/或第二力而移位。

如上所述，根据本发明构思的示例性实施例，当握持单元610a在第一引导杆6115和第二引导杆6125插入引导槽810的同时移动时，引导构件800支撑第一支撑板6114和第二支撑板6124。因此，可以防止第一支撑板6114和第二支撑板6124的第二端因第一力和/或第二力而移位。

引导构件800的高度h4可以小于第一支撑构件6112和第二支撑构件6122中的每一个的高度h3。因此，当握持单元610a保持基板时，引导构件800可以不造成干扰。第一支撑构件6112的高度h3可以指托盘613和第一支撑板6114的上表面6114a之间的间隔距离。第二支撑构件6122的高度h3可以指托盘613和第二支撑板6124的上表面6124a之间的间隔距离。

图15示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的握持单元的透视图。图16示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的图15的握持单元的截面图。为了便于解释，可以省略与参考图7和图8所先前描述基本相同的组件的进一步描述。

参考图15和图16，握持单元610b可以包括第一握持构件611、第二握持构件612和托盘613。

第一握持构件611可以包括第一吸附垫6111和第一支撑构件6112，并且还包括第一突起6116、第一上部线6117和第一下部线6118。第一支撑构件6112可以包括第一支撑板6114和第一支撑架6113。

第一突起6116可以沿第三方向d3从第一支撑板6114的上表面6114a突出。第一突起6116可以具有柱状形状。然而，本发明构思的示例性实施例不限于此。第一突起6116可以与第一支撑板6114的第一端相邻。第一突起6116可以与第一支撑架6113重叠(例如，垂直重叠)。

第一突起6116的高度h5可以与第一吸附垫6111的高度h6相对应。因此，当基板保持在第一吸附垫6111上时，第一突起6116可以不造成干扰。第一突起6116可以设置为多个。在示例性实施例中，可以提供一对第一突起6116。所述一对第一突起6116可以沿第二方向d2排列。

第一上部线6117可以将第一突起6116连接到第一支撑板6114的上表面6114a。例如，第一上部线6117的第一端可以连接到第一突起6116，并且第一上部线6117的第二端可以连接到第一支撑板6114的上表面6114a。在示例性实施例中，第一上部线6117的第二端可以与第一支撑板6114的第二端相邻，并且第一上部线6117的第一端可以与第一突起6116的上端相邻。在这种配置中，第一上部线6117可以防止第一支撑板6114的第二端沿与第三方向d3相反的逆方向移位。

第一下部线6118可以将第一支撑板6114的下表面6114b连接到第一支撑架6113的内表面6113a。例如，第一下部线6118的第一端可以连接到第一支撑架6113的内表面6113a，并且第一下部线6118的第二端可以连接到第一支撑板6114的下表面6114b。在示例性实施例中，第一下部线6118的第二端可以与第一支撑板6114的第二端相邻。在这种配置中，第一下部线6118可以防止第一支撑板6114的第二端沿第三方向d3移位。

第一下部线6118的第一端可以布置为高于第一照明构件(参见图3的310)。例如，托盘613与第一下部线6118的第一端之间的垂直距离h7可以大于第一照明构件310的高度(参见图4的h1)。因此，当第一照明构件310插入第一开口op1时，第一下部线6118可以不造成干扰。

第二握持构件612可以包括第二吸附垫6121和第二支撑构件6122，并且还包括第二突起6126、第二上部线6127和第二下部线6128。第二支撑构件6122可以包括第二支撑板6124和第二支撑架6123。

第二突起6126、第二上部线6127和第二下部线6128可以分别配置为与第一突起6116、第一上部线6117和第一下部线6118基本相同。因此，省略其详细描述。

以下描述描述了根据本发明构思的示例性实施例的如上所述配置的基板检查设备的操作。

图17至图20示出了示出根据本发明构思的示例性实施例的在基板检查中操作的图1的基板检查系统的侧视图。

参考图1、图6和图17，第一基板传送单元150可以驱动未检查的基板ss移动到浮动单元200上。例如，升降部分153可以沿第三方向d3升高辊151。辊151可以穿过通孔th，然后突出超过浮动台210、220、230、240、250和260。突出的辊151可以支撑基板ss。转动部分可以转动辊151。当辊151转动时，基板ss在浮动单元200上沿第一方向d1移动。在该操作中，基板ss可以与浮动单元200间隔开。

参考图1和图18，升降部分153可以沿与第三方向d3相反的逆方向降低辊151。浮动单元200可以朝基板ss喷射气体g，使得基板ss在浮动单元200上浮动。

握持单元610可以保持浮动的基板ss。例如，第一吸附垫6111和第二吸附垫6121可以吸附基板ss。

照明单元300可以沿朝向检查单元500和/或基板ss的方向产生光l，用光l照射检查单元500和/或基板ss。如上所述，基板ss可以对光l透明。检查单元500的光学构件510和520可以接收穿过基板ss的光l。光学构件510和520可以使用接收到的光l来获得图像信息(参见图5的i)。

例如，第一照明构件310可以布置在第一握持构件611和第二握持构件612之间，并且可以与基板ss的中间区域重叠。第一照明构件310可以沿朝向基板ss的中间区域的方向产生光l，从而用光l照射基板ss的中间区域。第一光学构件510可以接收穿过基板ss的中间区域的光l。

第二照明构件320可以插入第二开口op2中。例如，第二照明构件320可以布置在第二非重叠区域内(参见图8的noa2)。此时，第二非重叠区域noa2可以与基板ss的端部区域重叠。然后，第二照明构件320可以沿朝向基板ss的端部区域的方向产生光l，从而用光l照射基板ss的端部区域。第二光学构件520可以接收穿过基板ss的端部区域的光l。因此，基板检查系统10可以检查基板ss的中间区域和端部区域。

参考图1和图19，握持传送单元650可以驱动握持单元610沿第一方向d1移动。然后可以将第一照明构件310插入第一开口op1中。例如，第一照明构件310可以布置在第一非重叠区域内(参见图8的noa1)。此时，第一非重叠区域noa2可以与基板ss的对端区域重叠。然后，第一照明构件310可以沿朝向基板ss的对端区域的方向产生光l，从而用光l照射基板ss的对端区域。此外，随着握持单元610沿第一方向d1移动，第一照明构件310还可以沿朝向基板ss的中间区域和对端区域之间的第一区域的方向产生光l，从而用光l照射基板ss的中间区域和对端区域之间的第一区域。

随着握持传送单元650驱动握持单元610沿第一方向d1移动，第二照明构件320也可以沿朝向基板ss的中间区域和端部区域之间的第二区域的方向产生光l，从而用光l照射基板ss的中间区域和端部区域之间的第二区域。因此，基板检查系统10可以检查基板ss的第一区域、第二区域、端部区域和对端区域。结果，基板检查系统10可以减小或最小化基板ss的未检查区域。

参考图1和图20，升降部分153可以沿第三方向d3升高辊151。因此，辊151可以再次支撑基板ss。转动部分可以转动辊151，并且第一基板传送单元150可以沿第一方向d1移动被检查的基板ss。

浮动单元200可以停止喷射气体g。握持传送单元650可以驱动握持单元610沿与第一方向d1相反的逆方向移动。例如，握持传送单元650可以将握持单元610移回其初始位置。在握持单元610移回其初始位置之后，可以重复执行上述步骤。

根据本发明构思的示例性实施例，上述基板检查系统可用于执行制造半导体器件的方法。所述方法可以包括，例如，使用基板ss形成半导体器件，以及使用基板检查系统测试基板ss。测试基板ss可以包括：使用浮动单元200浮动基板ss，使用握持单元610将基板ss保持在浮动单元200上，其中握持单元610包括彼此间隔开的第一握持构件611和第二握持构件612，通过握持传送单元650移动握持单元610，通过布置在第一和第二握持构件611/612之间的照明构件310/320产生光l，其中光l照射到基板上并且通过检查单元500检查在浮动单元200上浮动的基板ss，其中光l穿过基板ss照射到检查单元500上，并且其中检查单元500使用照射到检查单元500上的光l来检查基板ss。

根据本发明构思的示例性实施例，当基板在被保持在握持设备中的同时移动时，可以在握持设备和照明单元之间最小化或防止干扰。因此，基板的大部分区域可以被照明单元产生的光照射，结果，可以减小或最小化基板的未检查区域。

尽管已经参考本发明构思的示例性实施例具体示出和描述了本发明构思，但是本领域普通技术人员将理解的是，在不脱离所附权利要求所限定的本发明构思的精神和范围的情况下，可以进行形式和细节上的多种改变。