改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的方法及装置与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的方法及装置。

背景技术：

有机发光二极管oled(organiclightemittingdiode)作为一种发光器件，因其所具有自发光、快速响应、宽视角和可制作在柔性衬底上等特点而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。oled显示装置中的amoled(activematrixdrivingoled，有源矩阵驱动有机发光二极管)显示装置具有低制造成本、高响应速度、省电、可用于便携式设备等优点而成为下一代新型平面显示器。

现有技术中，对amoled显示面板进行封装的方式有玻璃胶(fritseal)封装、uv胶结合干燥片(getter)封装、面胶封装(faceseal)、原子层沉积封装(atomiclayerdeposition，ald)和薄膜封装(thinfilmencapsulation，tfe)等多种方法。其中，对于柔性显示器而言，薄膜封装tfe为最常用的封装方式之一。

现行薄膜封装多以无机薄膜/有机薄膜/无机薄膜的堆叠方式进行封装，在一个示例中tfe封装结构100如图1所示，可以包括两无机薄膜层30和有机薄膜层10，其中有机薄膜层10通常采用喷墨打印设备(inkjetprinter)进行制备。在制备过程中，为了避免墨水(ink)在衬底基板11上流平后形成的有机薄膜的边界出现参差不齐或者超出基底的范围的现象，通常会在衬底基板11上对应墨水打印边界的位置设置挡墙20(bank)，且挡墙20与显示基板01上的像素界定层12(pixeldefinitionlayer，pdl)可通过掩膜、曝光(mask)工艺形成。

由于有机薄膜层10的成膜方式多采用喷墨打印印刷，通常喷墨印刷在涂布后，须进行有机墨水在无机薄膜层30上进行静置的平坦化过程处理形成有机薄膜层10，平坦化如果不佳，即可出现mura或者是表面的凹凸点，而不平坦的区域多发生于像素定义层pdl的凹坑里，这些均引起柔性显示器的显示质量问题。

为解决上述平坦化不佳引起的不良现象，相关改善方式为加厚有机墨水厚度或增加平坦化的静置时间。但是依然存在一些问题，例如增加有机墨水厚度会影响面板柔性的弯折半径，并且增加材料的耗损、成本及工艺时间。而增加平坦化的静置时间则会进一步增加工艺时间。因此，有必要提供一种新的技术方案改善上述方案中存在的一个或者多个问题。

需要注意的是，本部分旨在为权利要求书中陈述的本发明的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的方法及装置，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

根据本发明实施例的第一方面，提供一种改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的方法，该方法包括：

将有机材料构成的墨水涂布于一显示基板上的无机薄膜层的表面；

将该显示基板平放于一振动装置上，控制该振动装置以预设振动频率和预设振动幅度水平平移振动，以使所述墨水流动而形成有机薄膜层。

本发明的实施例中，所述预设振动频率为10hz以下，所述预设振动幅度为10um以下。

本发明的实施例中，所述预设振动频率和预设振动幅度中的至少一个可调。

本发明的实施例中，所述无机薄膜层为对该显示基板进行薄膜封装时在该显示基板上形成。

本发明的实施例中，所述平移振动的振动时长为5分钟以内。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的装置，该装置包括：

振动平台，该振动平台上用以平放一显示基板，该显示基板的无机薄膜层表面涂布有机材料构成的墨水；

控制单元，与该振动平台连接，用以控制该振动平台以预设振动频率和预设振动幅度水平平移振动，以使所述墨水流动而形成有机薄膜层。

本发明的实施例中，所述预设振动频率为10hz以下，所述预设振动幅度为10um以下。

根据本发明实施例的第三方面，提供一种薄膜封装方法，用于对有机发光显示基板进行封装，该方法包括：

在所述有机发光显示基板上形成第一无机薄膜层；

在所述第一无机薄膜层上形成有机薄膜层；

在所述有机薄膜层上形成第二无机薄膜层；

其中，在所述第一无机薄膜层上形成有机薄膜层，具体包括：

将有机材料构成的墨水涂布于所述第一无机薄膜层的表面，将该有机发光显示基板平放于一振动装置上，控制该振动装置以预设振动频率和预设振动幅度水平平移振动，以使所述墨水流动而形成有机薄膜层。

本发明的实施例中，所述预设振动频率为10hz以下，所述预设振动幅度为10um以下。

根据本发明实施例的第四方面，提供一种封装薄膜，采用如上述任一实施例所述的薄膜封装方法制成。

本发明的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：

本发明的实施例中，将有机材料构成的墨水涂布于显示基板上的无机薄膜层的表面，将该显示基板平放于一振动装置上，控制该振动装置以预设振动频率和预设振动幅度水平平移振动，以使所述墨水流动而形成有机薄膜层。这样相比现有技术，通过预设的振动而不是静置的方式形成有机薄膜层，使得有机薄膜层的平坦度较好，进而可提高制作的柔性显示器的显示质量；同时，可以节省柔性显示器薄膜封装工艺处理时间，也无需增加有机墨水厚度，减少墨水耗材，降低成本，也避免墨水厚度增加影响柔性面板的弯折性能的问题。

附图说明

图1示出现有技术中的薄膜封装结构示意图；

图2示出本发明实施例中改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的方法流程图；

图3示出本发明实施例中改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的装置示意图；

图4示出本发明示例性实施例中振动前的墨水形态示意图；

图5示出本发明实施例中振动后形成的有机薄膜层示意图；

图6示出本发明示例性实施例中的薄膜封装方法流程图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本发明将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。

此外，附图仅为本发明的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。

本示例实施方式中首先提供了一种改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的方法。参考图2中所示，该方法可以包括：

步骤s101：将有机材料构成的墨水涂布于一显示基板上的无机薄膜层的表面；

步骤s102：将该显示基板平放于一振动装置上，控制该振动装置以预设振动频率和预设振动幅度水平平移振动，以使所述墨水流动而形成有机薄膜层。

通过上述改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的方法，相比现有技术，通过预设的振动而不是静置的方式形成有机薄膜层，使得有机薄膜层的平坦度较好，进而可提高柔性显示器的显示质量；同时，可以节省柔性显示器薄膜封装工艺处理时间，也无需增加有机墨水厚度，减少墨水耗材，降低成本，也避免墨水厚度增加影响柔性面板的弯折性能的问题，整体上可以很好地提高制作的柔性显示器的质量和性能。

下面，将参考图2至图5对本示例实施方式中的上述方法的各个步骤进行更详细的说明。

在步骤s101中，将有机材料构成的墨水涂布于一显示基板上的无机薄膜层的表面；

具体的，在本发明的一实施例中，结合参考图1所示，该显示基板例如可以是有机发光显示基板01，该有机发光显示基板01可以包括衬底基板11，以及形成于衬底基板11上的像素界定层12。上述衬底基板11为制作阵列排布的多个像素电路的阵列基板。

所述无机薄膜层30为对该显示基板进行薄膜封装时在该显示基板上形成，例如形成于像素界定层12的上表面。该无机薄膜层30的材料可以包括二氧化硅、氮化硅等无机材料，具体可以采用例如化学气相沉积法形成该无机薄膜层30。

所述墨水的有机材料可以采用例如亚克力系列、环氧树脂系列或者硅基系列的有机材料中的任意一种。具体可以采用喷墨打印设备将有机材料构成的墨水涂布于所述无机薄膜层30的表面，墨滴分布形态参考图4中所示，为阵列式分布的墨滴。关于该喷墨打印设备可参考现有技术，此处不再赘述。

在步骤s102中，将该显示基板平放于一振动装置上，控制该振动装置以预设振动频率和预设振动幅度水平平移振动，以使所述墨水流动而形成有机薄膜层。

具体的，墨水涂布后，可以将例如有机发光显示基板01平放于一振动装置上，控制该振动装置以该预设振动频率和预设振动幅度水平平移振动，以使所述墨水流动形成有机薄膜层10，参考图5中所示。关于该振动装置具体可参考下述改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的装置实施例的内容。

本实施例中，参考图4或图5所示，该振动装置是沿水平方向p1或者p2单一方向进行水平平移振动，而不是上下振动，该预设的平移振动可以引起有机墨水的强迫流动，进而帮助有机墨水最终形成的有机薄膜层10的平坦化，避免因为平坦度不足所引起的不良现象如mura现象或凹凸点等，提高制作的柔性显示器的显示质量。在一实施例中，可选的，也可以在上述振动一定时间对墨水进行固化处理。

进一步的，在本发明的实施例中，所述预设振动频率可以为10hz以下，所述预设振动幅度可以为10um以下。具体的，为了提升有机墨水形成的有机薄膜层10的平坦度，进一步的，本发明实施例中将现有的静置平坦化工艺变更成以上述振动频率和幅度构成的微震平坦化工艺，将涂布完有机墨水的显示基板平放于一振动装置300上实现微震处理。该振动装置300以预设的低频(10hz以下)以及微幅(10um以下)水平平移振动，此低频微幅振动可引起有机墨水的强迫流动，且可以增加有机墨水的流动性，进而进一步提升有机墨水形成的有机薄膜层10的平坦度，避免因为平坦度不足所引起的上述不良现象。

可选的，在本发明的实施例中，所述预设振动频率和预设振动幅度中的至少一个可调。例如可以在振动频率为10hz以下范围以及振动幅度为10um以下范围内调整振动频率和振动幅度的数值大小，例如振动频率和振动幅度可分别在0～10hz和0～10um之间调整，进一步可以是2～8hz、2～8um之间任意数值。这样，也即在进行上述微震处理过程中，可以控制调整振动频率及振动幅度，这样可避免有机墨水因为振动而外溢出所限制的区域(一般有bank限制)、以及因为振动而引起的谐振纹路等其他问题。

可选的，在本发明的实施例中，所述平移振动的振动时长为5分钟以内。发明人研究发现，振动时间过长会对有机墨水固化形成的有机薄膜层10有所影响，带来后续制作的柔性显示器的质量问题。因此经试验设置在5分钟以内，可以很好地形成平坦度好的有机薄膜层10，也基本不会对有机薄膜层10带来影响。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的装置，如图3中所示，该装置300可以包括振动平台301和控制单元302；其中：

该振动平台301上用以平放一显示基板如有机发光显示基板01，该显示基板01的无机薄膜层30表面涂布有机材料构成的墨水；

该控制单元302与该振动平台301连接，用以控制该振动平台301以预设振动频率和预设振动幅度水平平移振动，以使所述墨水流动而形成有机薄膜层10。

具体的，结合图4或图5所示，该振动平台301可以包括一承载平面部，该承载平面部用以平放一显示基板。该振动平台301可以内置或外置振动部310，该振动部310可以与所述控制单元302连接，例如电连接等。该控制单元302可以是微处理器或者微控制器构成，或者plc控制单元等，对此不作限制。该控制单元302具体可以控制振动部310振动带动振动平台301以预设振动频率和预设振动幅度沿水平方向p1或者p2进行水平平移振动，以使所述墨水流动而形成有机薄膜层10。其中该振动部310可以由例如振动电机等实现，对此不作限制。

本实施例中，参考图4或图5所示，该振动装置是沿水平方向p1或者p2单一方向进行水平平移振动，而不是上下振动，该预设的平移振动可以引起有机墨水的强迫流动，进而帮助有机墨水最终形成的有机薄膜层10的平坦化，避免因为平坦度不足所引起的不良现象如mura现象或凹凸点等，提高制作的柔性显示器的显示质量。在一实施例中，可选的，也可以在上述振动一定时间对墨水进行固化处理。

进一步的，在本发明的实施例中，所述预设振动频率可以为10hz以下，所述预设振动幅度可以为10um以下。具体的，为了提升有机墨水形成的有机薄膜层10的平坦度，进一步的，本发明实施例中将现有的静置平坦化工艺变更成以上述振动频率和幅度构成的微震平坦化工艺，将涂布完有机墨水的显示基板平放于一振动装置300上实现微震处理。该振动装置300以预设的低频(10hz以下)以及微幅(10um以下)水平平移振动，此低频微幅振动可引起有机墨水的强迫流动，且可以增加有机墨水的流动性，进而进一步提升有机墨水形成的有机薄膜层10的平坦度，避免因为平坦度不足所引起的上述不良现象。

可选的，在本发明的实施例中，所述预设振动频率和预设振动幅度中的至少一个可调。例如可以在振动频率为10hz以下范围以及振动幅度为10um以下范围内调整振动频率和振动幅度的数值大小，例如振动频率和振动幅度可分别在0～10hz和0～10um之间调整，进一步可以是2～8hz、2～8um之间任意数值。这样，也即在进行上述微震处理过程中，可以控制调整振动频率及振动幅度，这样可避免有机墨水因为振动而外溢出所限制的区域(一般有bank限制)、以及因为振动而引起的谐振纹路等其他问题。

可选的，在本发明的实施例中，所述平移振动的振动时长为5分钟以内。发明人研究发现，振动时间过长会对有机墨水固化形成的有机薄膜层10有所影响，带来后续制作的柔性显示器的质量问题。因此经试验设置在5分钟以内，可以很好地形成平坦度好的有机薄膜层10，也基本不会对有机薄膜层10带来影响。

本实施例通过上述改善薄膜封装有机薄膜层平坦度的装置，相比现有技术，通过预设的振动而不是静置的方式形成有机薄膜层，使得有机薄膜层的平坦度较好，进而可提高柔性显示器的显示质量；同时，可以节省柔性显示器薄膜封装工艺处理时间，也无需增加有机墨水厚度，减少墨水耗材，降低成本，也避免墨水厚度增加影响柔性面板的弯折性能的问题，整体上可以很好地提高制作的柔性显示器的质量和性能。

根据本发明实施例的第三方面，提供一种薄膜封装方法，该薄膜封装方法可以用于对例如有机发光显示基板进行封装，参考图6中所示，该方法可以包括以下步骤：

步骤s601：在所述有机发光显示基板上形成第一无机薄膜层；

步骤s602：在所述第一无机薄膜层上形成有机薄膜层；

步骤s603：在所述有机薄膜层上形成第二无机薄膜层。

其中，步骤s602中在所述第一无机薄膜层上形成有机薄膜层，具体可以包括：将有机材料构成的墨水涂布于所述第一无机薄膜层30的表面，将该有机发光显示基板01平放于一振动装置上，控制该振动装置以预设振动频率和预设振动幅度水平平移振动，以使所述墨水流动而形成所述有机薄膜层10。

具体的，在本发明的实施例中，所述预设振动频率为10hz以下，所述预设振动幅度为10um以下。

进一步的，在本发明的实施例中，所述预设振动频率和预设振动幅度中的至少一个可调。

本发明的一实施例中，所述无机薄膜层30为对该显示基板进行薄膜封装时在该显示基板上形成。

进一步的，在本发明的一实施例中，所述平移振动的振动时长为5分钟以内。

在一些实施例中，可以重复上述步骤s601～s603以形成多层堆叠封装结构。

关于该薄膜封装方法中涉及的步骤s602，以及s601或者s603的具体实现可参考前述实施例中的相关详细描述，此处不再赘述。

本实施例中的上述薄膜封装方法中，形成封装结构的有机薄膜层时，相比现有技术，通过预设的振动而不是静置的方式形成有机薄膜层，使得有机薄膜层的平坦度较好，进而可提高柔性显示器的显示质量；同时，可以节省柔性显示器薄膜封装工艺处理时间，也无需增加有机墨水厚度，减少墨水耗材，降低成本，也避免墨水厚度增加影响柔性面板的弯折性能的问题，整体上可以很好地提高制作的柔性显示器的质量和性能。

根据本发明实施例的第四方面，提供一种封装薄膜(图未示)，该封装薄膜可以采用如上述任一实施例所述的薄膜封装方法制成。该封装薄膜可以用于例如柔性显示器的封装，当然并不限于此。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由所附的权利要求指出。